中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-780C
年式表記：
仕様:ガスSiH4 流量300SCCM W150 D40 H180
仕様:ガスSiH4 流量300SCCM W150 D40 H180
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜形成装置などで広く利用されている熱式マスフローコントローラーです。ガスの質量流量を直接計測・制御する方式を採用しており、温度や圧力の変動に影響を受けにくい極めて安定したガス供給を実現します。本個体は、半導体プロセスで重要な役割を果たすシラン（SiH4）ガス専用に調整されており、最大流量300 SCCMまでの微小流量域を精密に制御します。制御信号および出力信号には標準的なアナログ（0〜5 VDC）方式を採用しているため、既存のシステムや各種アナログ制御盤への組み込みが容易です。確かな実績を持つ堅牢な構造により、特殊高圧ガス使用下においても信頼性の高いプロセス管理をサポートします。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：シラン（SiH4）
・最大制御流量：300 SCCM（0℃、1気圧基準）
・流量制御範囲：2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
・精度：±1.0% F.S.
・直線定数（リニアリティ）：±0.5% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：2秒以下（ステップ入力に対し最終値の98%に到達する時間）
・動作差圧範囲：0.07 MPa ～ 0.31 MPa (10 psid ～ 45 psid)
・耐圧性能：最大使用圧力 1.03 MPa (150 psig)
・動作温度範囲：5℃ ～ 50℃
・外部リークレート：1×10⁻⁹ atm・cc/sec (He) 以下
・主要接ガス部材質：ステンレス鋼（SUS316）、フッ素ゴム等
・制御入力信号：0 ～ 5 VDC
・流量出力信号：0 ～ 5 VDC
・駆動電源：±15 VDC (±5%)
・電気コネクタ：20ピン カードエッジ端子
・外形寸法：W150 mm × D40 mm × H180 mm（※継手・突起部を除く）
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜形成装置などで広く利用されている熱式マスフローコントローラーです。ガスの質量流量を直接計測・制御する方式を採用しており、温度や圧力の変動に影響を受けにくい極めて安定したガス供給を実現します。本個体は、半導体プロセスで重要な役割を果たすシラン（SiH4）ガス専用に調整されており、最大流量300 SCCMまでの微小流量域を精密に制御します。制御信号および出力信号には標準的なアナログ（0〜5 VDC）方式を採用しているため、既存のシステムや各種アナログ制御盤への組み込みが容易です。確かな実績を持つ堅牢な構造により、特殊高圧ガス使用下においても信頼性の高いプロセス管理をサポートします。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：シラン（SiH4）
・最大制御流量：300 SCCM（0℃、1気圧基準）
・流量制御範囲：2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
・精度：±1.0% F.S.
・直線定数（リニアリティ）：±0.5% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：2秒以下（ステップ入力に対し最終値の98%に到達する時間）
・動作差圧範囲：0.07 MPa ～ 0.31 MPa (10 psid ～ 45 psid)
・耐圧性能：最大使用圧力 1.03 MPa (150 psig)
・動作温度範囲：5℃ ～ 50℃
・外部リークレート：1×10⁻⁹ atm・cc/sec (He) 以下
・主要接ガス部材質：ステンレス鋼（SUS316）、フッ素ゴム等
・制御入力信号：0 ～ 5 VDC
・流量出力信号：0 ～ 5 VDC
・駆動電源：±15 VDC (±5%)
・電気コネクタ：20ピン カードエッジ端子
・外形寸法：W150 mm × D40 mm × H180 mm（※継手・突起部を除く）