中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:流量：20SCCM ガス：O2
仕様:流量：20SCCM ガス：O2
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセス、各種真空装置、分析機器などの微小流量制御ラインで広く採用されているアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。対象ガスは酸素（O2）に設定されており、フルスケール流量20 SCCMに対して、2～100%の範囲で連続的かつ安定した質量流量の計測および制御を行います。酸化プロセスや精密なガス混合など、厳密な流量管理が求められる用途に適しています。
内部の流量制御バルブは、非通電時にバルブが閉鎖するノーマリークローズ（NC）機構を採用しており、停電やシステム異常時の意図しないガス供給を防ぐ安全設計となっています。また、接ガス部のシール構造にはメタルシールが採用されているため、外部リークの発生リスクが極めて低く、高純度ガスラインや高真空環境下での使用において高い信頼性を発揮します。
流量設定および出力信号には標準的な0～5 VDCのアナログ電圧を使用し、駆動電源として±15 VDCを必要とします。流量精度はフルスケールの±1.0%以内、応答時間は1秒以下と、高速かつ精密なガス供給システムを構築する上で十分な基本性能を備えています。
【AIによる参考仕様】
対象ガス：O2（酸素）
フルスケール流量：20 SCCM
バルブ作動形式：ノーマリークローズ（非通電時閉）
シール構造：メタルシール
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
流量精度：±1.0% F.S.
再現性：±0.2% F.S.
応答時間：1秒以内（代表値）
流量設定入力信号：0 ～ 5 VDC
流量出力信号：0 ～ 5 VDC
駆動電源：±15 VDC（±5%）
耐圧（最大使用圧力）：1.0 MPa (G)
使用周囲温度範囲：5 ～ 45 ℃
標準継手：1/4インチ VCRタイプ（※実機の装着フィッティングに依存します）
本機は、半導体製造プロセス、各種真空装置、分析機器などの微小流量制御ラインで広く採用されているアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。対象ガスは酸素（O2）に設定されており、フルスケール流量20 SCCMに対して、2～100%の範囲で連続的かつ安定した質量流量の計測および制御を行います。酸化プロセスや精密なガス混合など、厳密な流量管理が求められる用途に適しています。
内部の流量制御バルブは、非通電時にバルブが閉鎖するノーマリークローズ（NC）機構を採用しており、停電やシステム異常時の意図しないガス供給を防ぐ安全設計となっています。また、接ガス部のシール構造にはメタルシールが採用されているため、外部リークの発生リスクが極めて低く、高純度ガスラインや高真空環境下での使用において高い信頼性を発揮します。
流量設定および出力信号には標準的な0～5 VDCのアナログ電圧を使用し、駆動電源として±15 VDCを必要とします。流量精度はフルスケールの±1.0%以内、応答時間は1秒以下と、高速かつ精密なガス供給システムを構築する上で十分な基本性能を備えています。
【AIによる参考仕様】
対象ガス：O2（酸素）
フルスケール流量：20 SCCM
バルブ作動形式：ノーマリークローズ（非通電時閉）
シール構造：メタルシール
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
流量精度：±1.0% F.S.
再現性：±0.2% F.S.
応答時間：1秒以内（代表値）
流量設定入力信号：0 ～ 5 VDC
流量出力信号：0 ～ 5 VDC
駆動電源：±15 VDC（±5%）
耐圧（最大使用圧力）：1.0 MPa (G)
使用周囲温度範囲：5 ～ 45 ℃
標準継手：1/4インチ VCRタイプ（※実機の装着フィッティングに依存します）