中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-410-146のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高精度な熱式センサーと電磁弁を内蔵した、信頼性の高いアナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。長年にわたり研究開発から生産ラインまで幅広く採用されてきたロングセラーシリーズに属し、微小流量の精密なガス流量制御に適しています。

本個体は、半導体プロセスなどで用いられる特殊ガス「4% PH3/Ar（アルゴン希釈ホスフィン）」に調整されており、最大制御流量（フルスケール）は「250 CCM」仕様となっています。±1.0% F.S.の流量制御精度と、±0.2% F.S.の再現性を備え、安定したプロセス管理を実現します。接ガス部のシールにはエラストマー（フッ素ゴム等）を採用しており、気密性と耐食性を両立しています。入出力信号は標準的な0～5Vのアナログ電圧制御に対応しているため、既存の制御システムや実験設備への組み込み・リプレイスが容易です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** 4% PH3 / Ar（アルゴン希釈ホスフィン）
* **フルスケール流量：** 250 CCM（cm³/min at STP）
* **制御流量範囲：** 2% ～ 100% F.S.（5 ～ 250 CCM）
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 5秒以内（設定流量への到達時間）
* **動作差圧範囲：** 49 kPa ～ 294 kPa
* **耐圧力：** 980 kPa
* **外部リークレート：** 1.3 × 10⁻⁸ Pa・m³/s (He) 以下
* **接ガス部主要材質：** SUS316、SUS316L、フッ素ゴム
* **動作温度範囲：** 5℃ ～ 45℃
* **流量設定信号（入力）：** 0 ～ 5V DC
* **流量出力信号（モニター）：** 0 ～ 5V DC
* **駆動電源：** DC ±15V ±5%