中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-410-UCのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜形成装置などで広く使用される、特殊材料ガスであるシラン（SiH4）の精密な流量制御に特化したマスフローコントローラーです。ウルトラクリーン（UC）仕様が施されており、接ガス部にはガス放出や腐食を極限まで抑える処理がなされた金属素材を採用し、メタルシール構造にすることで高い気密性を確保しています。これにより、シランガスのような自己燃焼性を持つ危険なガスであっても、外部漏洩を防ぎながら安全かつ純度を維持した供給が可能です。駆動部には応答性に優れたピエゾアクチュエータバルブを搭載しており、設定値への迅速な追従性と安定した流量制御を実現します。フルスケール500SCCMの範囲内において、プロセスの要求に応じた微小な流量変化から定格流量まで、正確かつ再現性の高い制御プロセスを提供します。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** SiH4（シラン）
* **フルスケール流量：** 500 SCCM
* **流量制御範囲：** 2%～100% F.S.（フルスケール）
* **流量精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 1秒以下（代表値）
* **動作差圧範囲：** 100 kPa ～ 300 kPa
* **耐圧力：** 980 kPa
* **外部リークレート：** 1.0×10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **接ガス部材質：** ステンレス鋼（高純度ウルトラクリーン対応、メタルシール）
* **配管接続継手：** 1/4インチ VCRまたは互換継手
* **電気的インターフェース：**
* 制御信号：入力 0～5 VDC / 出力 0～5 VDC
* 駆動電源：±15 VDC (±5%)
* **動作環境温度：** 5～50℃