中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-860のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや研究開発、各種産業プロセスにおいて、ガスの質量流量を精密に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。腐食性ガスであるアンモニア（NH3）に対応した設計となっており、最大500 SCCMまでの流量を正確にコントロールします。
測定方式には熱式質量流量センサーを採用しており、周囲の温度や供給圧力の変動に左右されず、常に安定したガス流量の供給が可能です。また、応答性に優れた内部バルブを搭載し、設定値への迅速かつスムーズな流量追従を実現します。アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力に対応しているため、既存のアナログ制御システムや計測機器との親和性が高く、各種実験装置や製造ラインへの組み込み、および旧型機器からのリプレイス用途に適しています。

【AIによる参考仕様】
・対応ガス：NH3（アンモニア）
・フルスケール流量：500 SCCM
・制御範囲：2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
・精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：約2～4秒
・動作電源：±15 VDC
・流量設定入力 / 流量出力信号：0 ～ 5 VDC
・最大動作圧力：約1.0 MPa（150 psig）
・動作温度範囲：約5 ～ 45 ℃
・接ガス部材質：ステンレス鋼、高耐食性シール材（アンモニア対応仕様）
・外形寸法：W155 mm × D33 mm × H175 mm（継手等の突起部含む）
・配管接続継手：1/4インチ（面間寸法 155 mm相当、実機形状要確認）