中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-860
年式表記：
仕様:ガスSiN2Cl2 流量100SCCM W155 D33 H175
仕様:ガスSiN2Cl2 流量100SCCM W155 D33 H175
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
半導体製造プロセスや各種薄膜形成装置などで広く使用されている、熱式流量測定技術を採用したアナログ方式のマスフローコントローラー（MFC）です。
本装置は、特殊ガスであるSiN2Cl2（最大流量100 SCCM）の流量制御に対応しており、精密な成膜プロセスにおける微小流量の制御に適しています。
外部制御信号には標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力を使用し、駆動電源には±15 VDCを必要とします。応答性に優れ、設定値に対して迅速かつ安定したガス流量の追従性を発揮します。
堅牢な金属筐体を採用しており、経時変化が少なく信頼性の高いガス供給システムを構築できます。アナログ制御システムを搭載した既存設備への組み込みや、製造ラインのメンテナンス・予備パーツとして有用な機器です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: SiN2Cl2
* **最大流量**: 100 SCCM
* **流量制御方式**: 熱式質量流量制御
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC（アナログ）
* **動作電源**: ±15 VDC
* **バルブ動作**: ノーマリークローズ（Normally Closed / 常時閉）
* **流量精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約 2 秒以内
* **動作差圧範囲**: 約 70 〜 275 kPa (10 〜 40 psid)
* **最大動作圧力**: 約 1.03 MPa (150 psig)
* **外形寸法**: W155 × D33 × H175 mm（継手部等を含む）
* **主な材質**: ステンレス鋼（接ガス部）
半導体製造プロセスや各種薄膜形成装置などで広く使用されている、熱式流量測定技術を採用したアナログ方式のマスフローコントローラー（MFC）です。
本装置は、特殊ガスであるSiN2Cl2（最大流量100 SCCM）の流量制御に対応しており、精密な成膜プロセスにおける微小流量の制御に適しています。
外部制御信号には標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力を使用し、駆動電源には±15 VDCを必要とします。応答性に優れ、設定値に対して迅速かつ安定したガス流量の追従性を発揮します。
堅牢な金属筐体を採用しており、経時変化が少なく信頼性の高いガス供給システムを構築できます。アナログ制御システムを搭載した既存設備への組み込みや、製造ラインのメンテナンス・予備パーツとして有用な機器です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: SiN2Cl2
* **最大流量**: 100 SCCM
* **流量制御方式**: 熱式質量流量制御
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC（アナログ）
* **動作電源**: ±15 VDC
* **バルブ動作**: ノーマリークローズ（Normally Closed / 常時閉）
* **流量精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約 2 秒以内
* **動作差圧範囲**: 約 70 〜 275 kPa (10 〜 40 psid)
* **最大動作圧力**: 約 1.03 MPa (150 psig)
* **外形寸法**: W155 × D33 × H175 mm（継手部等を含む）
* **主な材質**: ステンレス鋼（接ガス部）