中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-860のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種理化学実験において、気体の質量流量を精密に測定・制御するための熱式マスフローコントローラーです。制御対象ガスとして腐食性を有するアンモニア（NH3）に対応しており、最大流量500 SCCMの領域において安定した流量制御を実現します。

動作原理としては、センサチューブに流れるガス質量に応じた熱移動を検出する熱式センサと、内蔵された電磁式コントロールバルブ、制御回路を組み合わせることで、一次側の圧力変動に左右されない正確なガス供給を可能にします。外部からの0〜5 VDCのアナログ電圧信号による流量設定に対応し、現在の流量を同等の0〜5 VDCの電圧信号として出力（モニター）します。長年にわたり産業用途で広く採用されてきた信頼性の高いプラットフォームをベースにしており、外寸は幅155mm、奥行33mm、高さ175mmのコンパクトな設計です。既存システムや実験装置の保守・交換用コンポーネントとして適しています。

【AIによる参考仕様】
* **装置種別**: 熱式マスフローコントローラー（MFC）
* **対応ガス種**: アンモニア（NH3）
* **最大制御流量**: 500 SCCM（0℃、1気圧基準）
* **流量制御範囲**: フルスケールの約2%〜100%
* **精度**: フルスケールの ±1.0% 以内
* **再現性**: フルスケールの ±0.2% 以内
* **応答時間**: 約2〜4秒（最終値の±2%以内に到達する時間）
* **制御入力信号**: 0〜5 VDC
* **流量出力信号**: 0〜5 VDC
* **必要電源**: ±15 VDC
* **シール材質**: エラストマー（ガス種適合仕様）
* **外形寸法**: W155 mm × D33 mm × H175 mm
* **接続コネクタ**: アナログインターフェース（カードエッジまたはD-sub仕様。現物をご確認ください）