中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-860のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスなどで広く使用されている熱式マスフローコントローラー（MFC）です。特にジクロロシラン（SiH2Cl2）のような反応性および腐食性の高いプロセスガスに対応しており、最大流量100 SCCMまでの極めて精密な流量制御を実現します。熱式センサーと高性能な電磁式コントロールバルブを内蔵し、外部からの0〜5 VDC信号に応じて、設定値に対する正確かつ迅速なガス流量の調整を行います。外形寸法はW155mm、D33mm、H175mmとコンパクトに設計されており、既存のガスパネルや配管システムへの組み込み、またはリプレイスに柔軟に対応します。堅牢な内部構造により経年変化が少なく、長期にわたり安定した再現性を維持する信頼性の高い測定・制御機器です。

【AIによる参考仕様】
・対象ガス：ジクロロシラン（SiH2Cl2）
・最大制御流量：100 SCCM
・本体寸法：W155 mm × D33 mm × H175 mm（接続継手部を含む）
・流量測定方式：熱式（サーマル）
・制御精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：2秒以下（代表値）
・アナログ入出力信号：0〜5 VDC
・動作電源：±15 VDC
・電気コネクタ：D-sub 15ピン
・バルブタイプ：ノーマリークローズ（N.C. / 無通電時閉）
・接ガス部材質：ステンレス鋼、耐食性金属材料（SUS316L等）