中古真空コンポーネント、マスフローコントローラー（MFC）の販売、在庫紹介

マスフローコントローラー（MFC）は、流体（主に気体）の質量流量を精密に計測し、同時に目標の流量へ自動で制御する機器です。一般的な体積流量計とは異なり、周囲の温度や圧力の変動に影響されずに正確な流量制御を行える点が最大の強みです。

■ マスフローコントローラーの主な特徴

第一に挙げられる特徴は、高い計測精度と優れた再現性です。流体の状態（温度・圧力）が変化しても「質量」そのものを測定するため、常に安定したガス供給が可能となります。第二に、高速なレスポンス性能です。外部からの設定信号に対して瞬時に応答し、短時間で目標の流量へ追従します。第三に、測定と制御を単一のユニットで完結できる自動化性能です。電気信号によってリアルタイムで流量を調整できるため、複雑なプロセス管理や工場ラインの自動化に適しています。なお、測定単位には標準状態の体積に換算したsccm（毎分ミリリットル）やslm（毎分リットル）などが用いられます。

■ マスフローコントローラーの仕組み

機器の内部は、主に流量センサー、バイパス構造、コントロールバルブ、制御回路の4つの要素で構成されています。

流体が機器内に流入すると、過半数の流体はメインのバイパス配管を通りますが、一定の正確な割合で精度の高いセンサー管へと分流されます。センサー部分には、一般的に熱式流量センサーが採用されています。このセンサーは配管の上下流に配置されたヒーターと温度センサーで構成されており、流体が流れていない状態では左右の温度バランスが保たれています。しかし、気体が流れると熱が下流側へ奪われ、上下流で温度差が生じます。この温度差は気体の質量流量に直接比例するため、これを電気信号に変換して現在の流量を算出します。

次に、制御回路が検出された流量と外部から入力された設定信号を比較します。両者に差がある場合、回路はコントロールバルブへ補正信号を送ります。バルブにはピエゾ素子や電磁ソレノイドが使用されており、弁の開度を微細に調整することで、実際の流量を設定値と完全に一致させるフィードバック制御を行います。

■ 主な用途と活用分野

極めて高いガス制御精度が求められる多種多様な産業分野で活用されています。

最も代表的な用途は半導体製造プロセスです。半導体素子の製造には、CVD（化学気相成長）やエッチング、スパッタリングといった工程があり、そこでは多種類のプロセスガスを極めて厳密な比率で供給しなければなりません。わずかな流量のブレが製品の不具合に直結するため、信頼性の高いマスフローコントローラーが不可欠となっています。

また、分析・科学機器の分野でも重要です。ガスクロマトグラフィーなどの分析装置では、キャリアガスの流量を一定に保つことが高精度な測定の前提条件となります。さらに、バイオプラントや医薬品製造における培養タンクへの酸素・二酸化炭素の微量供給、燃料電池の評価試験装置における供給ガスの制御、ガラス加工や金属熱処理を行う工業炉での燃焼ガス比率の調整など、幅広い現場で活用されています。近年では、脱炭素技術に関連した水素ガスの流量制御など、新エネルギー分野への応用も広がっています。