中古真空コンポーネントの機器名リスト
DC電源46件
イオンゲージ19件
ピラニーゲージ51件
バラトロン16件
コールドカソード2件
サーモカップル（TCゲージ）4件
マスフローコントローラー（MFC）47件
真空バルブ14件
RF電源71件
Convectron Gauge6件
アングルバルブ25件
ゲートバルブ11件
オリフィスコントローラー1件
コンダクタンスバルブ1件
スパークル（アークキラー）5件
バルブコントローラー4件
ピエゾバルブ2件
マッチングコントローラー1件
マッチングボックス5件
圧力コントローラー23件
イオン電源5件
CVCC可変電源5件
マスフローコントローラー電源3件
バタフライバルブ1件
チューニングコントローラー14件
減圧弁5件
RFコントローラー2件
キャパシタンスマノメータ13件
真空スイッチ1件
精密膜流量計1件
EB蒸着電源2件
マイクロ波電源2件
ゲージコントローラー3件
真空計11件
振子式バルブ3件
トランスファーロッド2件
回転導入機1件
フローコントローラー2件
角型ゲートバルブ7件
アクティブゲージ3件
直線導入機1件
ニードルバルブ1件
フォアライントラップ2件
L型バルブ2件
電流導入端子1件
ビューポート14件
真空部品その他7件
マニピュレーター2件
オイルミストトラップ2件
トラップヒーターコントローラー2件
カソード（スパッタ用）2件
真空コンポーネントの在庫表
| 機器名称 | メーカー | 型番 | 管理番号 | シリアル | 年式 | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627B.1TBD1B | Z20120214 | 13.332Pa | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-057 | Z20120213 | O2、5SCCM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410-UL | Z20120212 | O2、20SCCM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-057 | Z20120211 | O2、5SCCM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3-UL | Z20120210 | O2、20SCCM | ||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 626A13TBE | Z20120209 | |||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 622A12TAE | Z20120208 | |||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 622A11TBE | Z20120207 | |||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627A11T | Z20120206 | 10Torr | ||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 626BX11MDE | Z20120205 | 10mbar | ||
| RF電源 | アドテック ADTEC | AX-1000Ⅲ | Z20091806 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-４３０HG | Z20091803 | |||
| トランスファーロッド | その他 | Z20080609 | ストローク50㎝ ICF114 回転機構付 | |||
| トランスファーロッド | その他 | Z20080608 | ストローク50㎝ ICF70 | |||
| イオン電源 | COMMONWEALTH SCIENTIFIC CORPORATION | ID3500／2002-004-A | Z20080607 | |||
| イオン電源 | COMMONWEALTH SCIENTIFIC CORPORATION | ID3500／2002-004-A | Z20080606 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051163 | 26428-KA01-0001/18075 | ||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051162 | 26428-KA01-0001/18075 | ||
| その他真空部品（大気圧センサー） | アルバック Ulvac | SAU | Z20051160 | |||
| ビューポート | その他 | Z20051156 | ICF70 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40 | Z20051153 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051152 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051151 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051150 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051149 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051148 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051147 | |||
| 真空バルブ（ボール弁） | その他 | Z20051144 | NW40 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | 入江工研 IKC | 1LV-100D3 | Z20051142 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051141 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051140 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051139 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051138 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051137 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051136 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051135 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051134 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051133 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051132 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051131 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051130 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051129 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁） | Smc | XYH-40 | Z20051128 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁） | Smc | XYH-40 | Z20051127 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁） | Smc | XYH-40 | Z20051126 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051123 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051122 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051121 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051120 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051119 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051118 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051116 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SPU | Z20051114 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SPU | Z20051113 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SPU | Z20051112 | |||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z20051109 | |||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z20051108 | |||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z20051107 | |||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z20051106 | |||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z20051105 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-430HG | Z20041431 | 本体のみ | ||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-065B | Z20041426 | マッチングボックス付き | ||
| RF電源 | RF PLASMA PRODUCTS | RF5S | Z20041419 | 1998 | マッチングボックス付き | |
| バラトロン | MKS | 627B01TBC1B | Z200414017 | 0.1torr | ||
| バラトロン | MKS | 627B01TBC1B | Z200414016 | 133.32Pa | ||
| 真空計 | MKS | 270B | Z200414014 | |||
| カソード（スパッタ用） | その他 | Z200414012 | ||||
| カソード（スパッタ用） | その他 | Z200414011 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z541X | Z20033006 | 2011 | N2 200LM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z541X | Z20033005 | 2011 | N2 200LM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z541X | Z20033004 | 2011 | N2 200LM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z541X | Z20033003 | 2011 | N2 150LM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E70 | Z20033002 | H2 200LM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E70 | Z20033001 | H2 150LM | ||
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | Cesar1350 | Z20020704 | 5000W 13.56MHz マッチングボックスは別途 | ||
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | Cesar136 | Z20020703 | 600W 13.46MHz マッチングボックスは別途 | ||
| EB蒸着 ガンコントローラー | アルバック Ulvac | EGC-10S | Z19122305 | 2003 | ||
| 基板加熱電源 | アルバック Ulvac | PSE-073 | Z19122304 | |||
| 基板加熱電源 | アルバック Ulvac | PSE-073 | Z19122303 | |||
| EB蒸着電源 | アルバック Ulvac | HPS-1000F | Z19122302 | 2003 | ||
| イオンガンDC電源 | オリジン | Z19091416 | ||||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | G-TRAN | Z19091415 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | G-TRAN | Z19091414 | |||
| 振子式高真空バルブ | Vat | 16250-JA28-0001/0096 | Z19091413 | |||
| 振子式高真空バルブ | Vat | 16250-JA28-0001/0095 | Z19091412 | |||
| マルチイオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z19091411 | ピラニー測定子（WP-16）セット | ||
| マルチイオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z19091410 | ピラニー測定子（WP-16）セット | ||
| トラップヒーターコントローラー | アルバック Ulvac | STC-2A | Z19091402 | |||
| トラップヒーターコントローラー | アルバック Ulvac | STC-2A | Z19091401 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC7330M | Z19091392 | O2 500sccm、Ar 100sccm バルブユニット | ||
| アングルバルブ | Vat | 26428-KA01-0001/1457 A-675158 | Z19091367 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | アズビル | CMQ0050CSSH0100D0 | Z19091365 | H2、５０Ｌ/min | ||
| 真空計 | MKS | TYPE270 | Z19091213 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z511X | Z190804029 | 2008 | Ar 50SLM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XM | Z190804028 | 2008 | Ar 20SLM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XM | Z190804027 | 2008 | N2 50SLM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XM | Z190804026 | 2008 | N2 20SLM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z511X | Z190804025 | 2008 | O2 10SLM | |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1000G | Z190804024 | 2008 | センサー付き | |
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | PE-24 | Z190804023 | 2009 | ||
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | PE-24 | Z190804022 | 2008 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XN | Z1908040213 | 2008 | NO 101SLM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XN | Z1908040212 | 2008 | N2O 101SLM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XN | Z1908040211 | 2008 | NH3 101SLM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z511X | Z1908040210 | 2008 | N2 101SLM | |
| バタフライバルブ | Vat | 61534-KEAE-AKR1/0002 | Z190804021 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-832HG-CC | Z19071173 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | M-012DM | Z19071172 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | M-012DM | Z19071171 | |||
| DC電源 | Lambda | ESS 200-50－２－Ｄ | Z19071165 | |||
| DC電源 | Lambda | ESS 200-50－２－Ｄ | Z19071164 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | Z19071159 | O2 5000sccm | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | Z19071158 | N2 10sccm | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | Z19071157 | N2 5000sccm | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FCP1980 | Z19071156 | SF6 50sccm RANGE300sccm | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FCP1981 | Z19071155 | CF3 500sccm RANGE3000sccm | ||
| ビューポート | その他 | Z19071146 | ICF114 両面ICF | |||
| ビューポート | その他 | Z19071145 | ICF114 両面ICF | |||
| ビューポート | その他 | Z19071144 | ICF114 | |||
| ビューポート | その他 | Z19071143 | ICF114 | |||
| ビューポート | その他 | Z19071142 | ICF114 | |||
| ビューポート | その他 | Z19071141 | ICF114 | |||
| ビューポート | その他 | Z19071140 | ICF114 | |||
| ビューポート | その他 | Z19071138 | ICF152 | |||
| ビューポート | その他 | Z19071136 | ICF152 | |||
| ビューポート | その他 | Z19071135 | ICF70 | |||
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-05C | Z19071116 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | MDX2.5KW | Z19071115 | |||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627BX13TDC1BS179 | Z19063072 | 1000Torr | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | フジキン | FCST1005FC-4F2-F1L-H2 | Z19063070 | H2 1SLM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | フジキン | FCST1005FC-4F2-F1L-AR | Z19063069 | Ar 1SLM | ||
| バルブコントローラー | ファイファー Pfeiffer | RVG050C | Z19063065 | |||
| マッチングコントローラー | アステック ASTECH | RC-11 | Z19063053 | |||
| ゲージコントローラー | 大亜真空 DIAVAC | PC-1DA | Z19063050 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3 | Z19063045 | O2 50SCCM ｽｴｼﾞﾛｯｸ | ||
| 真空計 | ライボルト Leybold | COMBIVAC CM31 | Z19063036 | |||
| イオンゲージ（コントローラー） | Granville-Phillips | Z19063035 | 2006 | |||
| イオンゲージコントローラー | Granville-Phillips | 370 STABIL-ION CONTROLLER | Z19063034 | |||
| マッチングボックス | アステック ASTECH | ATL-100 | Z190630144 | TE580用 | ||
| マッチングボックス | アステック ASTECH | ATH-100 | Z190630133 | TE580用 | ||
| RF電源 | 森エンジニアリング | SA3090 | Z190630088 | 13.56MHz 306-B用 | ||
| DC電源（MDX-10K） | アドバンスドエナジー AE | 3152012-041AB | Z190630066 | AMAT/ENDURA用 | ||
| RF電源 | Eni | OEM-12A | Z190630022 | 13.56MHz | ||
| RF電源 | Eni | OEM-12A | Z190630011 | 13.56MHz | ||
| キャパシタンスマノメータ | Mks | 627A01TBC | Z19042704 | |||
| キャパシタンスマノメータ | Mks | PDR-CJ1C | Z19042703 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-832HG | Z19042702 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Z19032711 | |||||
| キャパシタンスマノメータ | Brooks | CMX45 | Z19032706 | Range：133.3Pa | ||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-2G | Z19032703 | 01305G | 測定子・ケーブル 2セット付属 | |
| RF電源 | アドテック ADTEC | TX06-F001-00 | Z19032312 | 600W、13.56MHz | ||
| RF電源 | アドテック ADTEC | TX10-F000-00 | Z19032311 | 1KW、13.56MHz | ||
| 圧力コントローラー | Mks | TYPE250／Model626A | Z18121417 | Range：266.66Pa | ||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02010-AA24-AKA1/0030 | Z18121416 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | TYPE250 TYPE113/Model627B | Z18121415 | Range：133.32Pa | ||
| ビューポート | その他 | Z18121414 | ||||
| マニピュレーター | その他 | Z18121412 | ||||
| マニピュレーター | その他 | Z18121411 | ||||
| バラトロン | Mks | Type250 | Z18121410 | センサー付き | ||
| 電流導入端子 | その他 | Z18121409 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ | Z18042328 | 空気 200ml/分 | ||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY | Z18042327 | センサー付き | ||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY | Z18042326 | センサー付き | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-2300RC-4.0-C3 | Z18040910 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc-le V | Z180320A3 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc-le V | Z180320A2 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc-le V | Z180320A1 | |||
| RF電源 | 新電元工業 SHINDENGEN | XR-P1330 | Z18032098 | 13.56MHｚ 3kW | ||
| RF電源 | 新電元工業 | XR-P1330 | Z18032097 | 13.56MHｚ 3kW | ||
| RF電源 | 新電元工業 | XR-P1310 | Z18032096 | 13.56MHｚ 1kW | ||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032089 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032088 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032087 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032086 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032085 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032084 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032081 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032080 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032079 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032078 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032077 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032076 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032075 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032074 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032073 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032072 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C-1 | Z18032065 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032064 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032063 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032062 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032061 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032060 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032059 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032058 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032057 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032056 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032055 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032054 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032053 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032052 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032051 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032050 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032049 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C-1 | Z18032048 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032047 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032046 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032045 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032044 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032043 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032042 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C-1 | Z18032038 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032037 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032036 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032035 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032034 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032033 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032032 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032031 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032030 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032029 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032028 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032027 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032026 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032025 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032023 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032022 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032021 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032020 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032019 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032018 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032017 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032016 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032015 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032014 | |||
| DC電源 | Eni | RPG-50 | Z18032013 | |||
| DC電源 | Eni | RPG-50 | Z18032012 | |||
| DC電源 | Eni | RPG-50 | Z18032011 | |||
| DC電源 | Eni | RPG-50 | Z18032010 | |||
| DC電源 | Eni | RPG-50 | Z18032009 | |||
| DC電源 | Eni | RPG-50 | Z18032008 | |||
| DC電源 | Eni | RPG-50 | Z18032007 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02212-BA24-0001/0036 | Z18022304 | A-1094556 | ||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02212-BA24-0002/0012 | Z18022303 | A-1353599 | ||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQW1/0057 | Z18022301 | A-356787 | ||
| L型バルブ | Smc | XLC-50-F9NA | Z18021407 | |||
| L型バルブ | Smc | XLC-50-F9NA | Z18021406 | |||
| アクティブゲージ | エドワーズ Edwards | AIM-S-NW25 | Z18012322 | |||
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG-M-NW16 | Z18012314 | |||
| フォアライントラップ | エドワーズ Edwards | FL20K | Z18012312 | |||
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG-L-NW16 | Z18012311 | |||
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG-L-NW16 | Z18012310 | |||
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | M/N 61300043 | Z17121807 | |||
| イオン電源 | その他 | IBS700 | Z17121802 | |||
| アングルバルブ | その他 | Z17121316 | ||||
| ニードルバルブ | その他 | Z17121313 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | Z17121307 | |||||
| バルブコントローラー | Tylan General | AC-2X | Z17120706 | |||
| 真空計 | エドワーズ Edwards | Z17120702 | D38654000 | アクティブゲージ ピラニーゲージ×２ セット ケーブルなし | ||
| ゲートバルブ | Vat | 95244-PAGC-AAQ1/0094 | Z17111418 | コンボコントロールバルブ | ||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 3152427-128D | Z17111416 | 675422 | 6kW | |
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 3152427-128D | Z17111415 | 676350 | 6kW ミニパネル付き | |
| ゲートバルブ | Vat | 0340X-LA24-BJK1/0040 | Z17111414 | |||
| 真空計 | インフィコン Inficon | BPG400 | Z17111407 | |||
| 真空計 | インフィコン Inficon | BPG400 | Z17111406 | |||
| 真空計 | インフィコン Inficon | BPG400 | Z17111405 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | SEC-4500MC-SUC | Z17090904 | JA803 | |||
| マルチゲージコントローラー | Granville-Phillips | 360B | Z17080515 | イオンゲージ（356）付属 | ||
| アングルバルブ | HVA | 14510-0073 | Z17080511 | 07-29435 | ||
| アングルバルブ | Nor-Cal | ESV-0752-CF | Z17080510 | 4649100 | 手動アングルバブ | |
| アングルバルブ | Nor-Cal | ESV-0752-CF | Z17080509 | 291344 | 手動アングルバブ | |
| 直線導入機 | MDC Vacuum Products | ABLM-275-1 | Z17080508 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-100 | Z17072910 | |||
| RF電源 | Eni | ACG-5 | Z17052917 | |||
| RF電源 | Eni | ACG-5 | Z17052916 | |||
| RF電源 | Eni | ACG-5 | Z17052915 | |||
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG-M-NW16 | Z17051101 | |||
| イオンゲージ | Granville-Phillips | No354002-YG-T | Z17032762 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032761 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032760 | |||
| イオンゲージ | Granville-Phillips | No20343041 | Z17032751 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032750 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032749 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032748 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQS1/012 | Z17032746 | A-344394 | ||
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | RF-50SWC 3150302-000 B2 SE | Z17032729 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQW1/0072 | Z17032723 | A-442715 | ||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY-S | Z17032717 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY-S | Z17032716 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-057D | Z17032707 | コントローラーのキー部破損有 | ||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | WSC-65 | Z17032705 | |||
| フローコントローラー | アネルバ ANELVA | CMS-201 | Z17032703 | |||
| フローコントローラー | アネルバ ANELVA | CMS-201 | Z17032702 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Z17012024 | |||||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 127500 | S21010727 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 127500 | S21010726 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | MDX10K 3152012 | S21010725 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | MDX10K 3152318 | S21010724 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc 3152013 | S21010723 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc 3152013 | S21010722 | |||
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | APEX5513 | S21010718 | マッチングBOX一式 | ||
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NR03NP380K | S21010717 | マッチングBOX等一式 | ||
| 真空計 | MKS | 750B11TGA2GA | S21010716 | |||
| 圧力コントローラー | MKS | 649A-28238 | S21010715 | |||
| 圧力センサー | MKS | 51A11MGA2BA005 | S21010706 | |||
| アクティブゲージ（ピラニー） | エドワーズ Edwards | APG-M-NW16 | S21010705 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E40 | S21010704 | |||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 628B-25767 | S21010703 | |||
| アクティブゲージ | エドワーズ Edwards | AIM-X-NW25 | S21010702 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-CA24-BBF1／0070 | S21010701 | |||
| 低周波電源 | アドバンスドエナジー AE | PeⅡ 10K | S20072340 | |||
| 低周波電源 | アドバンスドエナジー AE | PeⅡ 10K | S20072339 | |||
| 低周波電源 | アドバンスドエナジー AE | PeⅡ 10K | S20072338 | |||
| バルブコントローラー | Vat | PM-4 | S20072322 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | M-012DM | S20072321 | |||
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | FI-1000 | S20072320 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY-S | S20072319 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | MIG-430 | S20072318 | |||
| RFコントローラー | アドバンスドエナジー AE | M/N 5022-001-C | S20072315 | |||
| RF電源 | RF POWER PRODUCTS | RF-10 | S20041714 | |||
| RF電源 | RF POWER PRODUCTS | RF-10 | S20041713 | |||
| RF電源 | RF POWER PRODUCTS | RF-10 | S20041712 | |||
| RF電源 | RF POWER PRODUCTS | LF-5 | S20041711 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 02212-BA24-0001/0036 | G122119 | A-1094556 | ||
| 位相シフター | NRF | NXE-03B-2P | G122114 | NR1N-11 2台セット販売時に付属 | ||
| 振子式バルブ | Vat | 446847 | G122111 | |||
| ゲートバルブ | その他 | G112523 | 手動式 | |||
| コールドカソード | ファイファー Pfeiffer | PBR260 | G112520 | |||
| バラトロン | Mks | TYPE247 | G102621 | |||
| ゲージコントローラー | エドワーズ Edwards | G102620 | アクティブゲージコントローラー | |||
| オリフィスコントローラー | アネルバ ANELVA | CMS-201 | G102603 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | G100407 | |||||
| 振子式ゲートバルブ | Vat | 65050-JH52-0002/0003 | G100402 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | ピナクル Pinnacle | G092020 | 250560 | ||
| RF電源 | アドテック ADTEC | AX-600-Ⅲ | G092019 | 126000093 | ||
| イオン電源 | Veeco | MPS-5001 | G092018 | 20060502 | ||
| DC電源 | 松定プレシジョン Matsusada | MR150-20 | G041116 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 14040-CE24-ABL2/0047 | G041107 | |||
| ピラニーゲージ | 大亜真空 | CT-2P | G033104 | |||
| バルブコントローラー | Vat | PM-4 | G032415 | SERVICE BOXなし | ||
| ピエゾバルブ | 堀場エステック Stec | PV-2203MC | G032414 | |||
| 真空計 | アネルバ ANELVA | MTG-015 | G031426 | 測定子付属 | ||
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NL-05N/NCD-02 | G031126 | マッチングコントローラー付き | ||
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NR-05N/NCD-02 | G031125 | マッチングコントローラー付き | ||
| マイクロ波電源 | ニッシン | MPS-15D | G031124 | |||
| 真空計 | アルバック Ulvac | G031119 | センサー2個付属 | |||
| バラトロン | Mks | TYPE628 | G031118 | |||
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030818 | 275P8125 | 2005.12 | |
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030817 | 275E1908 | 2006.03 | |
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030816 | 275E1909 | 2006.03 | |
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030815 | 275E2519 | 2006.03 | |
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030814 | 275G9499 | 2008.02 | |
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030813 | 275E2783 | 2006.03 | |
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030811 | 275E2779 | 2006.03 | |
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030810 | 275I9372 | 2010.01 | |
| ゲートバルブ | Vat | 65048-JH52-0002 | G030703 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020414 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020413 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020412 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020411 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020410 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020409 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020408 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020407 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020406 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1GRY | G010701 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック | GP-1000 | F121814 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック | GP-1000 | F121813 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック | GP-1000 | F121812 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック | GP-1000 | F121811 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック | GP-1000 | F121810 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック | GP-1000 | F121809 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック | GP-1000 | F121808 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | ピナクル PINNACLE20K PFP | F120703 | 3152420-107U | S/N：C454911 F/R U 208V仕様 | |
| ゲートバルブ | HVA | 11210-0159 | F070218 | |||
| ピラニーゲージ | ファイファー Pfeiffer | TPG300 | F070216 | 2005 | ||
| ゲージコントローラー | エドワーズ Edwards | F062214 | アクティブゲージコントローラー | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー（AE） | pinnacle 12kW | F062210 | スパッタDC電源 ピナクル電源 | ||
| DC電源 | アドバンスドエナジー（AE） | pinnacle 12kW | F062209 | スパッタDC電源 ピナクル電源 | ||
| DC電源 | アドバンスドエナジー（AE） | pinnacle 12kW | F062208 | スパッタDC電源 ピナクル電源 | ||
| DC電源 | アドバンスドエナジー（AE） | pinnacle 12kW | F062201 | スパッタDC電源 ピナクル電源 | ||
| RF電源 | 日本電子 Jeol | JRF-750 | F032265 | |||
| 圧力コントローラー | Smc | F032242 | 1989 | |||
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-05A | F032240 | |||
| マッチングボックス | 電気興業 | ST-05S | F032214 | |||
| マイクロ波電源 | ニッシン | MPS-15D | F032213 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1100 | F031228 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1100 | F031227 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1100 | F031226 | |||
| カバーフランジ | F031224 | |||||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY-S | F021420 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY-S | F021419 | |||
| 真空バルブ（ガス導入弁） | Vacuum Generators | LV9207012 | E1224019 | |||
| オイルミストトラップ | ファイファー Pfeiffer | ONF025 | E1224018 | |||
| フォアライントラップ | Nor-Cal | FTA-4-01-NWB-CS | E1224017 | |||
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NR2N-04 | E1224014 | 2007 | 13/56MHz、2KW マッチングボックス2個（NM2A-14）、ケーブル付属 | |
| ビューポート | その他 | E12240125 | ICF114 | |||
| ビューポート | その他 | E12240123 | ||||
| アングルバルブ | Vat | 57132-GE02 | E12240122 | |||
| 回転導入機 | その他 | E12240118 | ||||
| キャパシタンスマノメータ | Tylan | COLD3106E | E12240113 | 0-1000TORR | ||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627BBU2TBE1B | E12240112 | 02Pa/133.32 | ||
| オイルミストトラップ | アルカテル Alcatel | OME40S | E12240111 | |||
| ゲートバルブ | エドワーズ Edwards | GVC060P | E121902 | |||
| マッチングボックス | その他 | E100313 | ||||
| バラトロン | Mks | 626A11TBE | E062406 | |||
| バラトロン | Mks | 626A01TBE | E062405 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040423 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040422 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040421 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040420 | |||
| RFコントローラー | アネルバ ANELVA | PSC-111 | E040419 | |||
| DC電源 | 高砂製作所 Takasago | GP060-10R | E040412 | |||
| DC電源 | 高砂製作所 Takasago | GP060-10R | E040411 | |||
| ピエゾバルブ | 堀場エステック Stec | PV-1202MC | E012728 | |||
| バラトロン | Mks | 122 | E012706 | 10torr | ||
| バラトロン | Mks | 122 | E012705 | 10torr | ||
| RF電源 | パール工業 PearlKogyo | RP-1000ｒｃ | E012703 | チューナーコントローラー（ZDK-916）付属 | ||
| RF電源 | パール工業 PearlKogyo | RP-1000rc | E012702 | チューナーコントローラー（ZDK-916）付属 | ||
| RF電源 | パール工業 PearlKogyo | E012701 | チューナーコントローラー（ZDK-916）付属 | |||
| 減圧弁 | D100450 | |||||
| 減圧弁 | D100449 | |||||
| 減圧弁 | D100448 | |||||
| 減圧弁 | D100447 | |||||
| 減圧弁 | D100446 | |||||
| 精密膜流量計 | 堀場エステック Stec | D090981 | ||||
| 真空スイッチ | アネルバ ANELVA | 954-7700 | D090960 | 2008 | ||
| バラトロン | CELEBRITY | CDLD3106E | D090915 | 2007 | ||
| ピラニー真空計（トランスデューサ） | 大亜真空 | TR-1DB | D072607 | |||
| ピラニー真空計（トランスデューサ） | 大亜真空 | TR-1DB | D072606 | |||
| ゲートバルブ | 11222-1209R-001 | D072097 | ||||
| スロットルバルブ | MEIVAC | VQ-300-JIS-SS-SM | D072096 | スロットルバルブコントローラー（2252） | ||
| バラトロン真空計 | MKS | 690A01TRC | D072092 | |||
| バラトロン真空計 | MKS | TYPE270 | D072091 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072089 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072088 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072087 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072086 | |||
| 真空ゲージコントローラー | GRAVILLE-PHILLIPS | 338 | D072083 | |||
| 真空ゲージコントローラー | GRAVILLE-PHILLIPS | 338 | D072082 | |||
| 真空ゲージコントローラー | MRC | 40520520-01 | D072081 | |||
| IBSコントローラー | コモンウェルズ（Commonwealth） | TBS-600 | D072079 | |||
| シングルゲージ | バルザース（BALZERS) | D072077 | ||||
| 真空圧力ゲージ | D072067 | |||||
| 真空ゲージコントローラー | MRC | 40520520-01 | D072065 | |||
| マッチングユニット | JRC | NFC-30-5A | D072051 | |||
| ユニット型電源 | TDK | HR-11F-24V5A | D072038 | |||
| マッチングコントローラー | 京三製作所（KYOSAN） | MAK5A | D072032 | |||
| 圧力コントローラー | EUROTHERM | D072007 | ||||
| バラトロン真空計 | MKS | TYPE270 | D072006 | |||
| 制御ユニット | 堀場 | RE-D20 | D063004 | |||
| 制御ユニット | 堀場 | RE-D20 | D063003 | |||
| 制御ユニット | 堀場 | RE-D20 | D063002 | |||
| 制御ユニット | 堀場 | RE-D20 | D063001 | |||
| バルブ | SMC | D051236 | セット品 | |||
| バルブ | SMC | D051235 | セット品 | |||
| バラトロン真空計 | バラトロン（BARATRON） | 270A | D040454 | |||
| RF電源 | アドテック | AX-2000 | D040453 | |||
| RF電源 | アドテック | AX-2000 | D040452 | |||
| RF電源 | アドテック | AX-2000 | D040451 | |||
| RF電源 | アドテック | AX-2000 | D040450 | |||
| RF電源 | アドテック | AX-2000 | D040449 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040431 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040430 | |||
| バラトロン真空計 | バラトロン（BARATRON） | 122RA | D040425 | |||
| バラトロン真空計 | バラトロン（BARATRON） | 122RA | D040423 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040422 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06E | D040421 | |||
| MINI-CONVECTRON真空計 | GRANVILLE-PHILLIPS | 275 | D040413 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040412 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040411 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040410 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040409 | |||
| RF電源 | アルバック | RFS-1330L | D030894 | 3KW、コントローラー付、マッチングボックス無 | ||
| RF電源 | アルバック | RFS-1330L | D030893 | 3KW、コントローラー付、マッチングボックス無 | ||
| RF電源 | アルバック | RFS-1330L | D030892 | 3KW、コントローラー付、マッチングボックス無 | ||
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-1330L | D030891 | 3KW、コントローラー付、マッチングボックス無 | ||
| キャパシタンスゲージ（バラトンゲージ） | MKS | 628B | D030822 | 1.333kPa | ||
| キャパシタンスゲージ（バラトンゲージ） | MKS | 628B | D030821 | 1.333kPa | ||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030820 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030819 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030818 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030815 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030814 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030813 | |||
| RF電源 | アルバック | RFS-1330L | D030812 | 3KW、コントローラー付、マッチングボックス無 | ||
| 圧力コントローラー | MKS | 600シリーズ | D030808 | |||
| 圧力コントローラー | MKS | 600シリーズ | D030807 | |||
| 圧力コントローラー | MKS | 600シリーズ | D030806 | |||
| 真空計コントローラー | Granville Phillips | 338 | C123014 | |||
| 真空計コントローラー | Granville Phillips | 338 | C123013 | |||
| 真空ゲート弁（バルブ） | VAT | 14040-CE24-ABL1 | C113041 | |||
| 真空ゲート弁（バルブ） | VAT | 14040-CE24-ABL1 | C113039 | |||
| ピラニーゲージ PIRANI GAUGE | SHIBAURA | TPG-1R | C051103 | S/N 0712 | ||
| コンダクタンスバルブ | VAT | 95244-PAGC-AAQ1/0091 | C032864 | OH品 新品より保管 | ||
| スパッタ電源（ピナクルⅡ） | AE | M/N3152427-1280 | C032828 | |||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032814 | 動作チェック済 動作チェック済 | ||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032813 | 動作チェック済 動作チェック済 | ||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032812 | 動作チェック済 動作チェック済 | ||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032811 | |||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032810 | |||
| DC電源 | ELECTORONIC MEASUREMENT INC | TCR600S1 | C032804 | 未使用品 新品より保管 | ||
| DC電源 | ELECTORONIC MEASUREMENT INC | EMS60-10 | C032801 | 未使用品 新品より保管 | ||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV25NO | C021329 | 特殊 高温タイプ | ||
| 圧力コントローラー | VAT | PM-6 | C021325 | |||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV40NO | C021316 | |||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV40NO | C021315 | |||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV40NO | C021314 | |||
| ピラニー真空計 | ULVAC | GP-1000 | B091019 | 測定子・ｹｰﾌﾞﾙなし | ||
| コールドカソード | 大亜真空 DIAVAC | CT-1DA | B012828 | センサー付き | ||
| 真空計 | Materials Research Corporation | 4052520-01 | B012822 | |||
| プラズマ用高周波電源 RF電源 | アドテック（ADTEC） | AX-2000 | A092908 | |||
| プラズマ用高周波電源 RF電源 | アドテック（ADTEC） | AX-2000 | A092906 | |||
| イオンゲージ | UNITEC | IG-8 | 8030212 |