中古真空コンポーネントの機器名リスト
DC電源35件
イオンゲージ28件
ピラニーゲージ32件
バラトロン8件
コールドカソード2件
サーモカップル（TCゲージ）11件
マスフローコントローラー（MFC）197件
真空バルブ14件
RF電源39件
マスフローメーター3件
Convectron Gauge6件
アングルバルブ29件
ゲートバルブ12件
オリフィスコントローラー1件
コンダクタンスバルブ3件
スパークル（アークキラー）5件
バルブコントローラー4件
ピエゾバルブ2件
マッチングボックス5件
圧力コントローラー19件
イオン電源4件
蒸着膜厚コントローラー2件
CVCC可変電源3件
マスフローコントローラー電源1件
マスフローコントローラー表示器1件
チューニングコントローラー14件
RFコントローラー2件
キャパシタンスマノメータ4件
EB蒸着電源2件
マイクロ波電源1件
電気計測器その他8件
ゲージコントローラー1件
真空計18件
振子式バルブ1件
トランスファーロッド1件
回転導入機7件
角型ゲートバルブ8件
アクティブゲージ5件
直線導入機9件
ニードルバルブ1件
フォアライントラップ1件
L型バルブ3件
電流導入端子5件
ビューポート38件
真空部品その他6件
マニピュレーター2件
Kセル1件
分圧計1件
クリスタルゲージ2件
アイソレートバルブ2件
圧力調整バルブ(APC)3件
真空コンポーネントの在庫表
| 機器名称 | メーカー | 型番 | 管理番号 | シリアル | 年式 | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| EB蒸着電源 | アネルバ ANELVA | EGP-101 | Z22102903 | |||
| 直線導入機 | その他 | Z220822039 | ICF114 移動長さ：30㎝ | |||
| 直線導入機 | その他 | Z220822038 | ICDF153/VF150/NW40 移動長さ：30㎝ | |||
| ゲートバルブ | Vat | 14040-CE44-0006/0204 | Z220822037 | ICF153 | ||
| 回転導入機 | その他 | Z220822036 | ICF114 | |||
| ビューポート | Z220822030 | 140㎜ | ||||
| ビューポート | Z220822029 | 140㎜ | ||||
| ビューポート | Z220822028 | 140㎜ | ||||
| ビューポート | Z220822027 | 140㎜ | ||||
| ビューポート | Z220822026 | 140㎜ | ||||
| ビューポート | Z220822025 | 140㎜ | ||||
| ビューポート | Z220822024 | 140㎜ | ||||
| ビューポート | Z220822023 | 140㎜ | ||||
| ビューポート | Z220822022 | 140㎜ | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | M100B00452CS1BV | Z220822021 | ガス：Ar 流量：500SCCM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | M100B02852CS1BV | Z220822020 | ガス：CH4 流量：500SCCM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | M100B00752CS1BV | Z220822019 | ガス：H2 流量：500SCCM | ||
| アングルバルブ | 大亜真空 DIAVAC | LAV-K10 | Z220822018 | |||
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | 3155047ｰ005B | Z220822003 | |||
| 圧力調整バルブ(APC) | Vat | 61532-KEAC-0002/0001 | Z22070764 | A-1841134 | ||
| 圧力調整バルブ(APC) | Vat | 61534-KEAE-AKR1/0002 | Z22070763 | A-920207 | ||
| 圧力調整バルブ(APC) | Vat | 61532-KECL-AWQ1/0001 | Z22070762 | A-1395559 | CC-LINKコネクタ付 | |
| ビューポート | その他 | Z22070743 | 160㎜ VF80 | |||
| ビューポート | その他 | Z22070742 | 160㎜ VF80 | |||
| ビューポート | その他 | Z22070741 | 160㎜ VF80 | |||
| ビューポート | その他 | Z22070740 | 160㎜ | |||
| ビューポート | その他 | Z22070739 | 235㎜ | |||
| ビューポート | その他 | Z22070738 | 185㎜ | |||
| ビューポート | その他 | Z22070737 | 210㎜ | |||
| ビューポート | その他 | Z22070736 | 160㎜ | |||
| ビューポート | その他 | Z22070735 | 80㎜ | |||
| ビューポート | その他 | Z22070734 | 80㎜ | |||
| ビューポート | その他 | Z22070733 | 70㎜ | |||
| ビューポート | その他 | Z22070732 | 80㎜ | |||
| アングルバルブ | アルバック Ulvac | VULH 150CM | Z22070731 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 12040-PA06-0003/0823 | Z22070729 | ISO-F100（外径165㎜） | ||
| ゲートバルブ | Vat | Z22070728 | ISO-F100（外径165㎜） | |||
| 直線導入機 | その他 | Z22070723 | 40㎜ | |||
| 直線導入機 | その他 | Z22070722 | 40㎜ | |||
| 直線導入機 | その他 | Z22070718 | 50㎜ | |||
| 直線導入機 | アネルバ ANELVA | Z22070717 | 40㎜ | |||
| 直線導入機 | アネルバ ANELVA | Z22070716 | 40㎜ | |||
| 直線導入機 | アネルバ ANELVA | Z22070715 | 40㎜ | |||
| ヌードゲージ | その他 | Z22070714 | ||||
| ヌードゲージ | アネルバ ANELVA | MG-2F | Z22070713 | |||
| アングルバルブ | アルバック Ulvac | VLH-US 40KF | Z22070710 | NW40 | ||
| 回転導入機 | その他 | Z22070706 | ||||
| 回転導入機 | その他 | Z22070705 | ||||
| 回転導入機 | アネルバ ANELVA | Z22070704 | ||||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | MTG-015 | Z22061113 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | MTG-015 | Z22061112 | |||
| アイソレートバルブ | アネルバ ANELVA | V-025SV-200 | Z22061111 | |||
| アイソレートバルブ | アネルバ ANELVA | V-025SV-200 | Z22061110 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | TG-550B | Z22061109 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | TG-550B | Z22061108 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-7330M | Z22053003 | ガス：B2H6 流量：200SCCM | ||
| 回転導入機 | アネルバ ANELVA | Z22051903 | ICF70 | |||
| 回転導入機 | アルバック Ulvac | Z22051902 | ICF70 | |||
| 回転導入機 | アネルバ ANELVA | Z22051901 | ICF34 | |||
| マスフローメーター | 堀場エステック Stec | SEF-Z511X | Z22033017 | ガス：N2 流量：2SLM 未使用品 | ||
| マスフローメーター | 堀場エステック Stec | SEF-Z511X | Z22033016 | ガス：N2 流量：2SLM 未使用品 | ||
| マスフローメーター | 堀場エステック Stec | SEF-Z511X | Z22033015 | ガス：N2 流量：2SLM 未使用品 | ||
| バラトロン | MKS | 627A01TAC | Z22033008 | Range:1Pa/133.32 | ||
| マッチングボックス | クリエイティブデザイン | 102Y-2 | Z2203170119 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-260J | Z2203170117 | 100SCCN/N2 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-260J | Z2203170116 | 100SCCN/O2 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-260J | Z2203170115 | 100SCCN/C2F6 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780 | Z2203170114 | 500SCCN/5％ SiH4/Ar | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780 | Z2203170113 | 500SCCN/N2O | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-780 | Z2203170112 | 100SCCN/NH3 | ||
| マスフローコントローラー表示器 | Aera | Z2203170111 | ||||
| ビューポート（回転盤付） | その他 | Z2203170110 | ||||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627B1TBD1B | Z22022811 | Range1Pa/133.32 | ||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | GI-3TLRY | Z22022810 | センサー、ケーブル付き | ||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | GI-3TLRY | Z22022809 | センサー、ケーブル付き | ||
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-10C | Z22022803 | マッチングボックス込み | ||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | WP-01 | Z211019027 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY | Z211019026 | |||
| 電離真空計 | アルバック Ulvac | GI-TL2 | Z211019025 | |||
| 電源 | アルバック Ulvac | PSH-072 | Z211019024 | 2002年 | ||
| EB蒸着電源 | アルバック Ulvac | HPS-510S | Z211019023 | |||
| トランスファーロッド | その他 | Z21090801 | ||||
| 電離真空計 | アネルバ | MIG-721 | Z21080373 | |||
| 電離真空計 | アネルバ | MIG-721 | Z21080372 | |||
| 真空計(分圧真空計) | アネルバ | QIG-066 | Z21080371 | W210 D370 H100 | ||
| 真空計(分圧真空計) | アネルバ | QIG-066 | Z21080370 | W210 D370 H100 | ||
| 真空計(分圧真空計) | アネルバ | QIG-066 | Z21080369 | W210 D370 H100 | ||
| 真空計 | アネルバ | MIG-721 | Z21080367 | AC100V | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEF-21A | Z21080366 | ガスN2 O2 Air 流量500SCCM W100 D30 H65 | ||
| マスフローコントローラー | 日立金属 | SFC-480 | Z21080365 | ガスAr 流量1000SCCM W120 D32 H140 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FM-860 | Z21080364 | ガスSiH4 流量300SCCM W150 D40 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FM-860 | Z21080363 | ガスSiH4 流量300SCCM W150 D40 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FM-860 | Z21080362 | ガスSiH4 流量300SCCM W150 D40 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-860 | Z21080361 | ガスSiN2Cl2 流量100SCCM W155 D33 H175 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-860 | Z21080360 | ガスSiH2Cl2 流量100SCCM W155 D33 H175 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-860 | Z21080359 | ガスNH3 流量500SCCM W155 D33 H175 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-860 | Z21080358 | ガスNH3 流量500SCCM W155 D33 H175 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770AC | Z21080357 | ガスCHF3 流量100SCCM W150 D40 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080356 | ガスN2 流量50SLM W150 D40 H155 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080355 | ガスN2 流量50SLM W150 D40 H155 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080354 | ガスN2 流量50SLM W150 D40 H155 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080353 | ガスO2 流量20SLM W150 D40 H155 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080352 | ガスO2 流量20SLM W150 D40 H155 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080351 | ガスO2 流量20SLM W150 D40 H155 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-781C | Z21080350 | ガスO2 流量20SLM W150 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780C | Z21080349 | ガスSF6 流量50SCCM W135 D32 H123 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780C | Z21080348 | ガスSiH2Cl2 流量100SCCM W125 D33 H150 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780C | Z21080347 | ガスSiH4 流量300SCCM W150 D40 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780C | Z21080346 | ガスNH3 流量500SCCM W125 D33 H150 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780C | Z21080345 | ガスAr 流量200SCCM | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-780 | Z21080344 | ガスHCl 流量500SCCM W125 D34 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-771C | Z21080343 | ガスN2 流量20SLM W125 D34 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-771C | Z21080342 | ガスN2 流量30SLM W125 D35 H175 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-771C | Z21080341 | ガスO2 流量20SLM W125 D31 H140 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770C | Z21080340 | ガスO2 流量500SM W125 D31 H142 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770AC | Z21080339 | ガスCF4 流量200SCCM W130 D32 H127 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770AC | Z21080338 | ガスO2 流量150SCCM W130 D32 H127 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770AC | Z21080337 | ガスAr 流量20SCCM W120 D32 H125 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-770AC | Z21080336 | 流量20SCCM ガスAr | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-761 | Z21080335 | ガスN2 流量10SLM W150 D40 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-761 | Z21080334 | ガスN2 流量10SLM W150 D40 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-760 | Z21080333 | ガスN2 流量500SCCM W150 D40 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-760 | Z21080332 | ガスN2 流量500SCCM W150 D40 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-760 | Z21080331 | ガスN2 流量500SCCM W125 D33 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-260 | Z21080330 | ガスHCl 流量1SLM W130 D25 H110 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-260 | Z21080329 | ガスB2H6 流量500SCCM W130 D25 H110 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-260 | Z21080328 | ガスSiH4 流量500SCCM W130 D25 H110 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-260 | Z21080327 | ガスPH3 流量500SCCM W130 D25 H110 | ||
| マスフローコントローラー | Tylan | FC-260 | Z21080326 | ガス5%SiH4／N2 流量3SLM W130 D25 H110 | ||
| マスフローコントローラー | リンテック | MC-100M | Z21080325 | ガスO2 流量500SCCM W210 D40 H175 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8160 | Z21080324 | ガスAr 流量70SCCM W125 D40 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8160 | Z21080323 | ガスN2 流量20SCCM W170 D37 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8160 | Z21080322 | ガスAr 流量70SCCM W240 D50 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8100 | Z21080321 | ガスO2 流量50SCCM W140 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8100 | Z21080320 | ガスN2 流量5SCCM W150 D37 H133 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-8100 | Z21080319 | ガスAr 流量200SCCM W125 D38 H138 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080318 | ガスAr 流量50SCCM W140 D37 H130(キャップ付) | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080317 | ガスN2 流量20SCCM W125 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080316 | ガスAr 流量50SCCM W125 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080315 | ガスN2 流量20SCCM W150 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080314 | ガスAr 流量100SCCM W150 D37 H130 出入口 1／4VCR(オス、ガスケット) | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080313 | ガスN2 流量20SCCM W130 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080312 | ガスAr 流量50SCCM W130 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080311 | ガスAr 流量100SCCM W150 D37 H130 出入口 1／4VCR(オス、ガスケット) | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200A | Z21080310 | ガスN2 流量50SCCM W125 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200 | Z21080309 | ガスAr 流量100SCCM 出入口 1／4VCR(オス、ガスケット) W145 D37 H132 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200 | Z21080308 | ガスAr 流量50SCCM W125 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1200 | Z21080307 | ガスAr 流量50SCCM W125 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1100 | Z21080306 | ガスN2 流量1000SCCM W150 D37 H138 | ||
| マスフローコントローラー | Unit | UFC-1100 | Z21080305 | ガスN2 流量100SCCM W150 D37 H138 | ||
| マスフローコントローラー | アズビル（旧ヤマタケ） | Z21080304 | ガスO2 流量200SCCM W140 D35 H150 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Brooks | 5877 | Z21080298 | ガスCF4 流量100SCCM W210 D40 H130 | ||
| マスフローコントローラー | エドワーズ | 825 | Z21080291 | ガスAr 流量50SCCM W130 D25 H160 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEF-1R | Z21080290 | ガスN2 流量20SLM W110 D30 H65 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-E4400-MO | Z21080289 | ガスHCl 流量1LM W135 D32 H130VA1F36 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-E440 | Z21080288 | ガスAr 流量50SCCM W150 D32 H120 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-7440MC | Z21080287 | ガスWF6 流量100SCCM W133 D31 H127 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-510-X | Z21080286 | ガスO2 流量20LM W160 D31 H135 継手スウェジロック 1／4 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-500MK3 | Z21080283 | ガスO2 流量10LM W150 D60 H180 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-500MK3 | Z21080282 | ガスH2 流量10lM W150 D60 H180 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400RO | Z21080281 | ガスO2 流量500SCCM W230 D45 H140 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MO-UC | Z21080280 | ガスSiH2Cl2 流量200SCCM W125 D31 H127 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MO-UC | Z21080279 | ガスNF3 流量3LM W125 D31 H127 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MO-UC | Z21080276 | ガスO2 流量2LM W132 D32 H130 継手1／4 VCR | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MO-UC | Z21080275 | ガスO2 流量500CCM W125 D31 H127 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-400MK2 | Z21080274 | ガスCH4 流量200SCCM W230 D25 H155 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MO | Z21080273 | ガスNH3 流量2LM W132 D32 H130 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400-MC | Z21080272 | ガスAr 流量500SCCM W340 D85 H200 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400-MC | Z21080271 | ガスAr 流量500SCCM W340 D85 H200 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MC | Z21080270 | ガスSiH4 流量30SCCM W125 D31 H127 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MC | Z21080268 | ガスO2 流量1SLM W125 D31 H170 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MC | Z21080266 | ガスAr 流量500SCCM W350 D90 H200 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MC | Z21080265 | ガスHCl 流量300SCCM W125 D31 H170 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MC | Z21080264 | ガスHCl 流量300SCCM W125 D31 H170 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MC | Z21080262 | ガスSF6 流量1SLM W125 D31 H127 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MC | Z21080261 | ガスSF6 流量300CCM W125 D31 H170 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400MC | Z21080260 | ガスN2 流量500SCCM W125 D32 H170 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400M | Z21080259 | ガスNF3 流量300SCCM W125 D31 H127 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400M | Z21080257 | 1999 | ガスN2 流量1SLM W130 D40 H145 | |
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-4400M | Z21080256 | 2000 | ガスO2 流量1SLM W125 D31 H130 | |
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-410 | Z21080254 | |||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-400MK3 | Z21080253 | ガスN2 流量5LM W115 D25 H122 継手スウェジロック 1／4 | ||
| マスフローコントローラー | 堀場エステック | SEC-400MK3 | Z21080252 | ガスO2 流量300CCM 継手 VCR 1／4 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D981 | Z21080251 | ガスN2 流量20SLM W155 D37 H160 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D981C | Z21080250 | ガスO2 流量20SLM W155 D39 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-761 | Z21080249 | ガスN2 流量10SLM | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080248 | ガスCHF3 流量100SCCM W130 D40 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080247 | ガスO2 流量50SCCM W130 D40 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080246 | ガスO2 流量50SCCM W125 D37 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080245 | ガスSF6 流量200SCCM W125 D30 H135 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080244 | ガスN2 流量200SCCM W125 D37 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080243 | ガスN2 流量1000SCCM W125 D37 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080242 | ガスHe 流量200SCCM W130 D40 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080241 | ガスN2 流量1000SCCM W130 D40 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980 | Z21080240 | ガスNH3 流量500SCCM W125 D37 H160 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080239 | ガスCl2 流量200SCCM W125 D37 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080238 | ガスCF4 流量100SCCM W125 D37 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080237 | ガスAr 流量200SCCM W130 D40 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080236 | ガスCF3 流量100SCCM W130 D40 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080235 | ガスCF4 流量100SCCM W130 D40 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080234 | ガスSF6 流量200SCCM W125 D37 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-D980C | Z21080233 | ガスHe 流量200SCCM W130 D40 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-981 | Z21080232 | ガスN2 流量20SLM W155 D39 H180 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-980 | Z21080231 | ガスSiH2Sl2 流量200SCCM W125 D37 H160 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-790 | Z21080230 | ガスSiH4 流量500SCCM W120 D35 H175 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-781C | Z21080229 | ガスN2 流量20SLM W160 D37 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-780C | Z21080228 | ガスSF6 流量10SCCM W125 D30 H135 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-780C | Z21080227 | ガスCl2 流量200SCCM W125 D30 H135 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-771AC | Z21080226 | ガスH2 流量20SLM W130 D30 H127 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-771AC | Z21080225 | ガスH2 流量20SLM W125 D34 H170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-771A | Z21080224 | ガスH2 流量20SLM W125 D34 H160 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-780C | Z21080223 | 使用ガスSF6 流量10SCCCM | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080222 | 使用ガスN2 流量100SCCM W115 D35 H130 継手スウェジロック 1／4 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080221 | 使用ガスN2 流量100SCCM W115 D35 H130 継手スウェジロック 1／4 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080220 | 使用ガスAr 流量300SCCM W115 D35 H130 継手スウェジロック 1／4 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080219 | 使用ガスAr 流量300SCCM W115 D35 H130 継手スウェジロック 1／4 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080218 | 使用ガスHe 流量2SLM W115 D35 H130 継手スウェジロック 1／4 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080217 | 使用ガスAr 流量300SCCM W115 D35 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770AC | Z21080216 | 使用ガスN2 流量100SCCM W115 D35 H130 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-770A | Z21080214 | ガスN2流量1SLM W125ｘD34ｘH170 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-261J | Z21080213 | ガスN2 流量10SLM W160 D32 H115 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-260J | Z21080212 | ガスPH3／N2 流量300SCCM W120 D25 H110 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-260J | Z21080211 | ガスN2 流量3SLM W130 D25 H110 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-260J | Z21080210 | ガス5%SiH4／N2 流量3SLM W130 D25 H110 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-260J | Z21080209 | ガスN2 流量5SLM W130 D25 H110 | ||
| マスフローコントローラー | Aera | FC-260J | Z21080208 | ガスPH3／N2 流量300SCCM W120 D25 H110 | ||
| アクティブピラニゲージ | エドワーズ | APG-L-NW16 | Z21080207 | W55 D35 H120 | ||
| アクティブピラニゲージ | エドワーズ | APG-L-NW16 | Z21080206 | W55 D35 H120 | ||
| アクティブピラニゲージ | エドワーズ | APG-L-NW16 | Z21080205 | W55 D35 H120 | ||
| DC電源 | XANTREX | XKW40-25 | Z21080204 | 2003 | 0~40V 230VAC 0~25A 1750VA W485 D530 H45 | |
| DC電源 | XANTREX | XKW40-25 | Z21080203 | 2003 | 0~40V 230VAC 0~25A 1750VA W485 D530 H45 | |
| DC電源 | XANTREX | XKW150-20 | Z21080202 | 2003 | ||
| DC電源 | XANTREX | XKW150-20 | Z21080201 | 2003 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | SAM | SFC480EMC-4VM | Z21041916 | H2 5SLM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-3400SM-SP | Z21041913 | H2 50CCM SMT-3000付属 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | CV-2100NO LEP | Z21041912 | H2 2 SLM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC2100MOWR | Z21041911 | H2 200 SCCM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | SAM | SFC480EMC-4VM | Z21041910 | H2 5 SLM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-781 | Z21041908 | H2 2SLM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-3400 SM | Z21041907 | H2 200CCM SMT-3000付属 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-7330MO-SUC | Z21041906 | H2 50CCM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-2100MO | Z21041903 | H2 2SLM | ||
| Kセル | その他 | Z210303054 | 有機用、4セット | |||
| 蒸着膜厚コントローラー | インフィコン Inficon | ＸＴＭ／２ | Z210303053 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | TG-550B | Z2021090302 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-057 | Z20120213 | O2、5SCCM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-057 | Z20120211 | O2、5SCCM | ||
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 622A12TAE | Z20120208 | |||
| イオン電源 | COMMONWEALTH SCIENTIFIC CORPORATION | ID3500／2002-004-A | Z20080607 | |||
| イオン電源 | COMMONWEALTH SCIENTIFIC CORPORATION | ID3500／2002-004-A | Z20080606 | |||
| 分圧計 | アルバック Ulvac | model MA-01 | Z200804029 | センサーユニット付き センサーは無し | ||
| 蒸着膜厚コントローラー | アルバック Ulvac | CRTM | Z200804025 | |||
| クリスタルゲージ | アネルバ ANELVA | M-320XG | Z2008040222 | |||
| クリスタルゲージ | アネルバ ANELVA | M-320XG | Z2008040221 | |||
| ピラニーゲージ | 大亜真空 DIAVAC | PT-3PM | Z2008040217 | 本体のみ | ||
| コールドカソード | 大亜真空 DIAVAC | CT-2PM | Z2008040216 | 本体のみ | ||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051163 | 26428-KA01-0001/18075 | ||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051162 | 26428-KA01-0001/18075 | ||
| その他真空部品（大気圧センサー） | アルバック Ulvac | SAU | Z20051160 | |||
| ビューポート | その他 | Z20051156 | ICF70 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40 | Z20051153 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051152 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051151 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051150 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051149 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051148 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁、空圧弁） | Smc | XYA-40H0 | Z20051147 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | 入江工研 IKC | 1LV-100D3 | Z20051142 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051141 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051140 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051139 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051138 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051137 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051136 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051135 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051134 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051133 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051132 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051131 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051130 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051129 | |||
| 真空バルブ（ストレート弁） | Smc | XYH-40 | Z20051127 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051123 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051122 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051121 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051120 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051119 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | Z20051118 | |||
| アングルバルブ（空圧弁） | Smc | XMA-16H0 | Z20051116 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SPU | Z20051114 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SPU | Z20051113 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SPU | Z20051112 | |||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z20051108 | |||
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z20051107 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-065B | Z20041426 | マッチングボックス付き | ||
| 電離真空計 | アルバック Ulvac | GI-N5 | Z2004140808 | |||
| ピラニー真空計 | アルバック Ulvac | GP-1SRYｰS | Z2004140805 | |||
| マッチングボックス | 東京ハイパワー | HC-2000S | Z2004140804 | 560728 | 1996年 | |
| アングルバルブ | バリアン Varian | L6591-301 | Z200414049 | |||
| アングルバルブ | Vat | 28332-GE01-0004／0127 | Z200414048 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | TG-550B | Z2004140475 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-3102L-NC-4JR2AAA00 | Z2004140433 | N2、100SCCM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E440 | Z2004140431 | O2、500SCCM | ||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1100 | Z200414043 | ケーブル付属、測定子無し | ||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | Z2004140426 | センサー別売り | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | Z2004140425 | センサー別売り | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | Z2004140424 | センサー別売り | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1100 | Z200414042 | ケーブル付属、測定子無し | ||
| 電流導入端子 | その他 | Z2004140418 | ICF86 | |||
| 真空バルブ | スウェージロック Swagelok | SS-4BMG-VCR | Z2004140415 | 三方弁 | ||
| 真空バルブ | スウェージロック Swagelok | １／４ | Z2004140412 | |||
| 真空バルブ | Vat | F22-012 | Z2004140411 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ミリポア Millipore | Z20020760 | He | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ミリポア Millipore | Z20020759 | He | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ミリポア Millipore | Z20020758 | H2 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ミリポア Millipore | Z20020757 | SF6 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ミリポア Millipore | Z20020756 | N2 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQW1／0057 | Z20020755 | A-356787 | ||
| 圧力コントローラー | MKS | 640A-28779 | Z20020754 | Range 1000Torr | ||
| 圧力コントローラー | MKS | 640A-28779 | Z20020753 | Range 1000Torr | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-100MSRWR | Z20020751 | H2 1sccm | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | 1480A-25077 | Z20020749 | N2 40sccm | ||
| コンダクタンスバルブ | Vat | CMS-327 | Z20020715 | |||
| コンダクタンスバルブ | Vat | CMS-327 | Z20020714 | |||
| 基板加熱電源 | アルバック Ulvac | PSE-073 | Z19122304 | |||
| 基板加熱電源 | アルバック Ulvac | PSE-073 | Z19122303 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | G-TRAN | Z19091415 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | G-TRAN | Z19091414 | |||
| マルチイオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z19091411 | ピラニー測定子（WP-16）セット | ||
| マルチイオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | Z19091410 | ピラニー測定子（WP-16）セット | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC7330M | Z19091392 | O2 500sccm、Ar 100sccm バルブユニット | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | アズビル | CMQ0050CSSH0100D0 | Z19091365 | H2、５０Ｌ/min | ||
| 真空計 | MKS | TYPE270 | Z19091213 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z511X | Z190804029 | 2008年 | Ar 50SLM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XN | Z1908040213 | 2008年 | NO 10SLM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XN | Z1908040212 | 2008年 | N2O 10SLM | |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z511X | Z1908040210 | 2008年 | N2 101SLM | |
| DC電源 | Lambda | ESS 200-50－２－Ｄ | Z19071165 | |||
| DC電源 | Lambda | ESS 200-50－２－Ｄ | Z19071164 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | Z19071159 | O2 5000sccm | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | Z19071158 | N2 10sccm | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | Z19071157 | N2 5000sccm | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FCP1980 | Z19071156 | SF6 50sccm RANGE300sccm | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FCP1981 | Z19071155 | CF3 500sccm RANGE3000sccm | ||
| ビューポート | その他 | Z19071146 | ICF114 両面ICF | |||
| ビューポート | その他 | Z19071144 | ICF114 | |||
| ビューポート | その他 | Z19071143 | ICF114 | |||
| ビューポート | その他 | Z19071140 | ICF114 | |||
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-05C | Z19071116 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | MDX2.5KW | Z19071115 | |||
| バルブコントローラー | ファイファー Pfeiffer | RVG050C | Z19063065 | |||
| ゲージコントローラー | 大亜真空 DIAVAC | PC-1DA | Z19063050 | |||
| 真空計 | ライボルト Leybold | COMBIVAC CM31 | Z19063036 | |||
| イオンゲージ（コントローラー） | Granville-Phillips | Z19063035 | 2006年 | |||
| イオンゲージコントローラー | Granville-Phillips | 370 STABIL-ION CONTROLLER | Z19063034 | |||
| マッチングボックス | アステック ASTECH | ATL-100 | Z190630144 | TE580用 | ||
| RF電源 | 森エンジニアリング | SA3090 | Z190630088 | 13.56MHz 306-B用 | ||
| DC電源（MDX-10K） | アドバンスドエナジー AE | 3152012-041AB | Z190630066 | AMAT/ENDURA用 | ||
| RF電源 | Eni | OEM-12A | Z190630022 | 13.56MHz | ||
| キャパシタンスマノメータ | Mks | PDR-CJ1C | Z19042703 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | Z19032711 | |||||
| キャパシタンスマノメータ | Brooks | CMX45 | Z19032706 | Range：133.3Pa | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | 649A-27650 | Z181219018 | 配管ユニット1式、He＊10SCCM | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | 日立金属 | FCPI 980 | Z181219016 | マニホールド１式：C4F8＊50 SF6＊500 N2＊200 BCl3＊200 ClF3＊500 CL2＊200 O2＊5000 | ||
| RF電源 | SEREN | R301MKⅡ | Z1812190111 | 2012年 | マッチングボックス、コントローラー付き | |
| 圧力コントローラー | Mks | TYPE250／Model626A | Z18121417 | Range：266.66Pa | ||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02010-AA24-AKA1/0030 | Z18121416 | A-238434 | ||
| 圧力コントローラー | Mks | TYPE250 TYPE113/Model627B | Z18121415 | Range：133.32Pa | ||
| ビューポート | その他 | Z18121414 | ||||
| マニピュレーター | その他 | Z18121412 | ||||
| マニピュレーター | その他 | Z18121411 | ||||
| 電流導入端子 | その他 | Z18121409 | ||||
| イオンゲージ | その他 | VX-200B | Z181002091 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ | Z18042328 | 空気 200ml/分 | ||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-2300RC-4.0-C3 | Z18040910 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc-le V | Z180320A3 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc-le V | Z180320A2 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc-le V | Z180320A1 | |||
| RF電源 | 新電元工業 | XR-P1330 | Z18032097 | 13.56MHｚ 3kW | ||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032089 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032088 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032087 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032086 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032085 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032084 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032080 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032079 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032078 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032077 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032076 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032075 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032074 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032073 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-028 | Z18032072 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C-1 | Z18032065 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032064 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032063 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032062 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032061 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032060 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032059 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032058 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032057 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032056 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032055 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032054 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032053 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032052 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032050 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032047 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032046 | |||
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | Z18032045 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032036 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032035 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032034 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032033 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032032 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032031 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032029 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032026 | |||
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | Z18032025 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032023 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032022 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032021 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032020 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032019 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032018 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032017 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032016 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032015 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | Z18032014 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02212-BA24-0001/0036 | Z18022304 | A-1094556 | ||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02212-BA24-0002/0012 | Z18022303 | A-1353599 | ||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQW1/0057 | Z18022301 | A-356787 | ||
| L型バルブ | Smc | XLC-50-F9NA | Z18021407 | |||
| L型バルブ | Smc | XLC-50-F9NA | Z18021406 | |||
| アクティブゲージ | エドワーズ Edwards | AIM-S-NW25 | Z18012322 | |||
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG-L-NW16 | Z18012311 | |||
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG-L-NW16 | Z18012310 | |||
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | M/N 61300043 | Z17121807 | |||
| イオン電源 | その他 | IBS700 | Z17121802 | |||
| アングルバルブ | その他 | Z17121316 | ||||
| ニードルバルブ | その他 | Z17121313 | ||||
| マスフローコントローラー（MFC） | Z17121307 | |||||
| バルブコントローラー | Tylan General | AC-2X | Z17120706 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 95244-PAGC-AAQ1/0094 | Z17111418 | コンボコントロールバルブ | ||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 3152427-128D | Z17111416 | 675422 | 6kW | |
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 3152427-128D | Z17111415 | 676350 | 6kW ミニパネル付き | |
| ゲートバルブ | Vat | 0340X-LA24-BJK1/0040 | Z17111414 | |||
| 真空計 | インフィコン Inficon | BPG400 | Z17111406 | |||
| 真空計 | インフィコン Inficon | BPG400 | Z17111405 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | SEC-4500MC-SUC | Z17090904 | JA803 | |||
| マルチゲージコントローラー | Granville-Phillips | 360B | Z17080515 | イオンゲージ（356）付属 | ||
| アングルバルブ | HVA | 14510-0073 | Z17080511 | 07-29435 | ||
| アングルバルブ | Nor-Cal | ESV-0752-CF | Z17080510 | 4649100 | 手動アングルバブ | |
| アングルバルブ | Nor-Cal | ESV-0752-CF | Z17080509 | 291344 | 手動アングルバブ | |
| 直線導入機 | MDC Vacuum Products | ABLM-275-1 | Z17080508 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-100 | Z17072910 | |||
| RF電源 | Eni | ACG-5 | Z17052917 | |||
| RF電源 | Eni | ACG-5 | Z17052916 | |||
| RF電源 | Eni | ACG-5 | Z17052915 | |||
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG-M-NW16 | Z17051101 | |||
| イオンゲージ | Granville-Phillips | No354002-YG-T | Z17032762 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032761 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032760 | |||
| イオンゲージ | Granville-Phillips | No20343041 | Z17032751 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032750 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032749 | |||
| Convectron Gauge | Granville-Phillips | No275 | Z17032748 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQS1/012 | Z17032746 | A-344394 | ||
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | RF-50SWC 3150302-000 B2 SE | Z17032729 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-AQW1/0072 | Z17032723 | A-442715 | ||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY-S | Z17032717 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY-S | Z17032716 | |||
| DC電源 | アネルバ ANELVA | PDC-057D | Z17032707 | コントローラーのキー部破損有 | ||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | WSC-65 | Z17032705 | |||
| イオンゲージ | アネルバ | M-833HG-CC | S21083102 | |||
| イオンゲージ | アネルバ | M-833HG-CC | S21083101 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052309 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052308 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052307 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052306 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052305 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052304 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052303 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052302 | |||
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | S21052301 | |||
| 真空計（電離） | アルバック | GI-M | S21022268 | |||
| イオンゲージ | アネルバ | MIG-921 | S21022267 | |||
| イオンゲージ | アネルバ | M-431HG | S21022224 | |||
| イオンゲージ | アネルバ | M-431HG | S21022223 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 127500 | S21010727 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 127500 | S21010726 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | MDX10K 3152012 | S21010725 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc 3152013 | S21010723 | |||
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc 3152013 | S21010722 | |||
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NR03NP380K | S21010717 | マッチングBOX等一式 | ||
| 真空計 | MKS | 750B11TGA2GA | S21010716 | |||
| 圧力センサー | MKS | 51A11MGA2BA005 | S21010706 | |||
| アクティブゲージ（ピラニー） | エドワーズ Edwards | APG-M-NW16 | S21010705 | |||
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-CA24-BBF1／0070 | S21010701 | |||
| バルブコントローラー | Vat | PM-4 | S20072322 | |||
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | M-012DM | S20072321 | |||
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | FI-1000 | S20072320 | |||
| RFコントローラー | アドバンスドエナジー AE | M/N 5022-001-C | S20072315 | |||
| RF電源 | RF POWER PRODUCTS | LF-5 | S20041711 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 02212-BA24-0001/0036 | G122119 | A-1094556 | ||
| 位相シフター | NRF | NXE-03B-2P | G122114 | NR1N-11 2台セット販売時に付属 | ||
| 振子式バルブ | Vat | 446847 | G122111 | |||
| ゲートバルブ | その他 | G112523 | 手動式 | |||
| コールドカソード | ファイファー Pfeiffer | PBR260 | G112520 | |||
| バラトロン | Mks | TYPE247 | G102621 | |||
| オリフィスコントローラー | アネルバ ANELVA | CMS-201 | G102603 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | G100407 | |||||
| 振子式ゲートバルブ | Vat | 65050-JH52-0002/0003 | G100402 | |||
| イオン電源 | Veeco | MPS-5001 | G092018 | 20060502 | ||
| DC電源 | 松定プレシジョン Matsusada | MR150-20 | G041116 | |||
| ゲートバルブ | Vat | 14040-CE24-ABL2/0047 | G041107 | |||
| ピラニーゲージ | 大亜真空 | CT-2P | G033104 | |||
| バルブコントローラー | Vat | PM-4 | G032415 | SERVICE BOXなし | ||
| ピエゾバルブ | 堀場エステック Stec | PV-2203MC | G032414 | |||
| 真空計 | アネルバ ANELVA | MTG-015 | G031426 | 測定子付属 | ||
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NL-05N/NCD-02 | G031126 | マッチングコントローラー付き | ||
| 真空計 | アルバック Ulvac | G031119 | センサー2個付属 | |||
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030818 | 275P8125 | 2005.12 | |
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030816 | 275E1909 | 2006.03 | |
| ピラニーゲージ | Mks | Type-275 | G030811 | 275E2779 | 2006.03 | |
| RF電源 | アドテック ADTEC | AX-1000Ⅲ | G0220041 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020414 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020413 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020412 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020411 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020410 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020409 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020408 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020407 | |||
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ-V | G020406 | |||
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | ピナクル PINNACLE20K PFP | F120703 | 3152420-107U | S/N：C454911 F/R U 208V仕様 | |
| DC電源 | アドバンスドエナジー（AE） | pinnacle 12kW | F062208 | スパッタDC電源 ピナクル電源 | ||
| RF電源 | 日本電子 Jeol | JRF-750 | F032265 | |||
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-05A | F032240 | |||
| マッチングボックス | 電気興業 | ST-05S | F032214 | |||
| マイクロ波電源 | ニッシン | MPS-15D | F032213 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1100 | F031228 | |||
| カバーフランジ | F031224 | |||||
| 真空バルブ（ガス導入弁） | Vacuum Generators | LV9207012 | E1224019 | |||
| フォアライントラップ | Nor-Cal | FTA-4-01-NWB-CS | E1224017 | |||
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1GRY | E12240148 | 03320G | ||
| ビューポート | その他 | E12240125 | ICF114 | |||
| ビューポート | その他 | E12240123 | ||||
| アングルバルブ | Vat | 57132-GE02 | E12240122 | |||
| ゲートバルブ | エドワーズ Edwards | GVC060P | E121902 | |||
| L型バルブ | アネルバ ANELVA | E11213713 | ||||
| 真空計 | アネルバ ANELVA | MG-1F | E11213712 | |||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213711 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213710 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213709 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213708 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213707 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213706 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213705 | ||||
| ビューポート | アネルバ ANELVA | E11213704 | ||||
| 電流導入端子 | アネルバ ANELVA | E11213703 | ||||
| 電流導入端子 | アネルバ ANELVA | E11213702 | ||||
| 電流導入端子 | アネルバ ANELVA | E11213701 | ||||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040423 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040422 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040421 | |||
| チューニングコントローラー | ダイヘン | CMC-10 | E040420 | |||
| RFコントローラー | アネルバ ANELVA | PSC-111 | E040419 | |||
| ピエゾバルブ | 堀場エステック Stec | PV-1202MC | E012728 | |||
| ピラニー真空計（トランスデューサ） | 大亜真空 | TR-1DB | D072607 | |||
| ゲートバルブ | 11222-1209R-001 | D072097 | ||||
| バラトロン真空計 | MKS | 690A01TRC | D072092 | |||
| バラトロン真空計 | MKS | TYPE270 | D072091 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072089 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072088 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072087 | |||
| ピラニーゲージ | 芝浦エレテック（SHIBAURA) | TPG-1RC | D072086 | |||
| 真空ゲージコントローラー | GRAVILLE-PHILLIPS | 338 | D072083 | |||
| 真空ゲージコントローラー | GRAVILLE-PHILLIPS | 338 | D072082 | |||
| 真空ゲージコントローラー | MRC | 40520520-01 | D072081 | |||
| IBSコントローラー | コモンウェルズ（Commonwealth） | TBS-600 | D072079 | |||
| シングルゲージ | バルザース（BALZERS) | D072077 | ||||
| 真空圧力ゲージ | D072067 | |||||
| 真空ゲージコントローラー | MRC | 40520520-01 | D072065 | |||
| マッチングユニット | JRC | NFC-30-5A | D072051 | |||
| ユニット型電源 | TDK | HR-11F-24V5A | D072038 | |||
| マッチングコントローラー | 京三製作所（KYOSAN） | MAK5A | D072032 | |||
| 圧力コントローラー | EUROTHERM | D072007 | ||||
| バラトロン真空計 | MKS | TYPE270 | D072006 | |||
| バルブ | SMC | D051236 | セット品 | |||
| バルブ | SMC | D051235 | セット品 | |||
| バラトロン真空計 | バラトロン（BARATRON） | 270A | D040454 | |||
| RF電源 | アドテック | AX-2000 | D040452 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040431 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040430 | |||
| バラトロン真空計 | バラトロン（BARATRON） | 122RA | D040425 | |||
| バラトロン真空計 | バラトロン（BARATRON） | 122RA | D040423 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040422 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06E | D040421 | |||
| MINI-CONVECTRON真空計 | GRANVILLE-PHILLIPS | 275 | D040413 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040412 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040411 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040410 | |||
| キャパシタンスダイアフラムゲージ | TYLAN GENERAL | CMH-05S06 | D040409 | |||
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-1330L | D030891 | 3KW、コントローラー付、マッチングボックス無 | ||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030820 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030819 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030818 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030815 | |||
| ピラニーゲージ（G-TRAN） | アルバック | SP-1 | D030814 | |||
| 圧力コントローラー | MKS | 600シリーズ | D030808 | |||
| 圧力コントローラー | MKS | 600シリーズ | D030807 | |||
| 圧力コントローラー | MKS | 600シリーズ | D030806 | |||
| 真空計コントローラー | Granville Phillips | 338 | C123014 | |||
| 真空計コントローラー | Granville Phillips | 338 | C123013 | |||
| 真空ゲート弁（バルブ） | VAT | 14040-CE24-ABL1 | C113041 | |||
| 真空ゲート弁（バルブ） | VAT | 14040-CE24-ABL1 | C113039 | |||
| ピラニーゲージ PIRANI GAUGE | SHIBAURA | TPG-1R | C051103 | S/N 0712 | ||
| コンダクタンスバルブ | VAT | 95244-PAGC-AAQ1/0091 | C032864 | OH品 新品より保管 | ||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032812 | 動作チェック済 動作チェック済 | ||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032811 | |||
| CVCC可変電源 | LAMBDA | GEN600-1.3 | C032810 | |||
| DC電源 | ELECTORONIC MEASUREMENT INC | TCR600S1 | C032804 | 未使用品 新品より保管 | ||
| DC電源 | ELECTORONIC MEASUREMENT INC | EMS60-10 | C032801 | 未使用品 新品より保管 | ||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV25NO | C021329 | 特殊 高温タイプ | ||
| 圧力コントローラー | VAT | PM-6 | C021325 | |||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV40NO | C021316 | |||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV40NO | C021315 | |||
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV40NO | C021314 | |||
| ピラニー真空計 | ULVAC | GP-1000 | B091019 | 測定子・ｹｰﾌﾞﾙなし | ||
| 真空計 | Materials Research Corporation | 4052520-01 | B012822 |