中古真空コンポーネントの機器名リスト
DC電源43件
イオンゲージ11件
ピラニーゲージ20件
バラトロン8件
コールドカソード1件
サーモカップル（TCゲージ）9件
マスフローコントローラー（MFC）235件
真空バルブ12件
RF電源31件
マスフローメーター2件
Convectron Gauge5件
アングルバルブ30件
ゲートバルブ11件
オリフィスコントローラー1件
コンダクタンスバルブ3件
スパークル（アークキラー）3件
バルブコントローラー2件
ピエゾバルブ1件
ペニングゲージ1件
マッチングボックス5件
圧力コントローラー7件
イオン電源2件
蒸着膜厚コントローラー1件
マスフローコントローラー電源3件
マスフローコントローラー表示器1件
チューニングコントローラー16件
RFコントローラー1件
微差圧計1件
キャパシタンスマノメータ4件
超音波流量計1件
マイクロ波電源1件
ゲージコントローラー1件
真空フランジ1件
真空計16件
振子式バルブ1件
トランスファーロッド1件
回転導入機2件
フローコントローラー3件
角型ゲートバルブ7件
アクティブゲージ2件
直線導入機4件
ニードルバルブ1件
フォアライントラップ1件
L型バルブ1件
電流導入端子4件
ビューポート19件
マニピュレーター2件
ビューポートシャッター1件
Kセル2件
分圧計1件
圧力調整バルブ（APC）3件
HF電源1件
ガス導入バルブ1件
ブランクフランジ1件
真空マニュピレーター1件
真空部品その他11件
真空コンポーネントの在庫表
中古真空コンポーネントの過去の取扱実績
これまでに買取・販売した真空コンポーネントです。すべて販売済みで現在の在庫ではありませんが、同じ型式を再びお取り扱いできる場合があります。お探しの機種がありましたらお問い合わせください。新しい順に300件を表示しています（全696件）。機種ごとの全件は上の機器名リストから各機種のページでご覧いただけます。
| 機器名称 | メーカー | 型番 | 取扱台数 |
|---|---|---|---|
| 電離真空計 | キヤノンアネルバ | MIG-921 | 1台 |
| 電離真空計 | キヤノンアネルバ | M-922HG | 1台 |
| ピラニー真空計 | アルバック Ulvac | GP-1SRY | 5台 |
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | GI-M2 | 4台 |
| DC電源 | テクシオテクノロジー TEXIO | PSW-360L3 | 1台 |
| DC電源 | 菊水電子工業 Kikusui | PAS500-1.2 | 2台 |
| コールドカソード | 大亜真空 DIAVAC | DGC-A12/TRC | 1台 |
| ピラニーゲージ | 大亜真空 DIAVAC | TR-1DB/TRP-10 | 1台 |
| コールドカソード | ファイファー Pfeiffer | OmniControl200／PKR360 | 1台 |
| バキュームゲージ | ファイファー Pfeiffer | HPT100 | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-770AC | 22台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E40 | 23台 |
| クリスタルゲージ | アネルバ ANELVA | M-336MX-SP/N16 | 1台 |
| クリスタルゲージ | アネルバ ANELVA | M-320XG | 5台 |
| コールドカソード | バルザース Balzers | PKR250 | 1台 |
| DC電源 | 京三製作所 Kyosan | HPK06Z | 1台 |
| RF電源 | 京三製作所 Kyosan | RFK10ZF | 1台 |
| 電離真空計 | アルバック Ulvac | GI-TL3 | 14台 |
| 真空計 | ファイファー Pfeiffer | PKR251 | 11台 |
| ゲートバルブ | アルバック Ulvac | VUGH40 | 1台 |
| ゲートバルブ | MDC Vacuum Products | E-GV-1500M | 1台 |
| ワイドレンジ 直流安定化電源 | 菊水電子工業 Kikusui | PWR800M | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | エフコン | C1005-4S2-300-AR | 1台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-832HG | 6台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | エフコン | C1005-4S2-50-N2 | 1台 |
| オリフィスコントローラー | アネルバ ANELVA | CMS-301 | 9台 |
| DC電源（MDX） | アドバンスドエナジー AE | M/N 3152012-112B | 1台 |
| ゲートバルブ | アルバック Ulvac | VUGH65 | 1台 |
| ピラニーゲージ | ライボルト Leybold | THERMOVAC TM21／TR211 | 1台 |
| 真空計 | アルバック Ulvac | sh2-1／SPU | 1台 |
| ピラニーゲージ | ライボルト Leybold | THERMOVAC TM22／TR211 | 1台 |
| アングルバルブ | 入江工研 | 1LV25NO | 5台 |
| 圧力コントローラー | Mks | TYPE252 | 4台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410NC | 27台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3 | 14台 |
| DC電源（ピナクルプラス） | アドバンスドエナジー AE | M/N 3152533-356C | 2台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | MIG-831 | 2台 |
| RF電源 | アネルバ ANELVA | PRF-125C | 14台 |
| DC電源 | Eni | RPG-50A | 1台 |
| 蒸着膜厚コントローラー | インフィコン Inficon | IC/5 | 2台 |
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | Cesar136 | 2台 |
| バルブコントローラー | Vat | PM-4 | 3台 |
| DC電源 | Eni | DCG100 | 1台 |
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | TG-550B | 5台 |
| ゲートバルブ | ハイライトテック | GVB-SS-CF150-M | 1台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | BRG-1B | 2台 |
| アングルバルブ | アユミ工業 | ML-40NW | 1台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | MIG-821 | 6台 |
| RFコントローラー | アネルバ ANELVA | PSC-111 | 2台 |
| 蒸着膜厚コントローラー | インフィコン Inficon | XTM/2 | 2台 |
| ゲートバルブ | 未設定 | 11130-0404 | 1台 |
| Kセル | その他 | 電源：PAK35-30A | 1台 |
| ダイジングソー | ディスコ Disco | DAD562 | 1台 |
| トランスデューサ型真空計 | アネルバ ANELVA | M-601GC | 1台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | MIG-921 | 2台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-922HG | 1台 |
| 蒸着膜厚コントローラー | インフィコン Inficon | XTC/2 | 1台 |
| 真空計 | ファイファー Pfeiffer | ﾌﾙﾚﾝｼﾞCCｹﾞｰｼﾞ PKR251／TPG261 | 1台 |
| ピラニー真空計 | 岡野製作所 | APG-202N32 | 16台 |
| 真空計 | アルバック Ulvac | GI-TL3RY | 11台 |
| 真空計 | アネルバ ANELVA | M-430HG | 13台 |
| 圧力コントローラー | Mks | 600Series | 13台 |
| EB蒸着電源 | アネルバ ANELVA | EGP-230 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | ヤマタケ Yamatake | CMQ9500CSSN0001D0 | 1台 |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1000 | 12台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E440J | 5台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | コフロック Kofloc | MODEL3660 | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ | メガトール（BROOKS） | CMX45 | 1台 |
| バラトロン | MKS | 122AA-00010AB | 1台 |
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | PAC-6E | 5台 |
| キャパシタンスマノメーター | MKS | 627B-22707 | 1台 |
| イオンゲージ | インフィコン | BPG400 | 1台 |
| マルチセンサ | アルバック | CRTS-12 | 1台 |
| 真空計 | インフィコン | VGC503 | 1台 |
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK30-27 | 4台 |
| MFC | 堀場STEC | SEC-E40 | 3台 |
| ピラニーゲージ | インフィコン | PSG400 | 1台 |
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NR3N-05 | 1台 |
| 真空計 | インフィコン | VGC403 | 2台 |
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK35-34 | 1台 |
| コールドカソード | バリアン | FRG-700 | 1台 |
| DC電源 | 松定プレシジョン | PK45-18 | 3台 |
| イオンゲージ | アルバック Ulvac | GI-3TLRY | 3台 |
| 真空ゲージ | アルバック Ulvac | WIT | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410 | 8台 |
| RF電源 | アドテック ADTEC | TX10-D000-00 | 1台 |
| RF電源 | アドテック ADTEC | TX06-9001-00-1 | 1台 |
| 真空バルブ | Smc | XLG-50-M9NA | 1台 |
| L型バルブ | Smc | XMD-50HO | 1台 |
| 真空計 | アルバック Ulvac | IG45DC | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-MK3 | 1台 |
| 電離真空計 | アルバック Ulvac | GI-1000 | 1台 |
| 真空計 | アルバック Ulvac | GP-2ARY | 1台 |
| バタフライバルブ | フジテクノロジー | 1041021 | 1台 |
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | M-12DM | 1台 |
| サーモカップル（TCゲージ） | アネルバ ANELVA | MTG-012 | 3台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | MIG-721 | 2台 |
| ゲートバルブ | Vat | 10840-CE44-0005 | 2台 |
| アクティブゲージ | エドワーズ Edwards | AIM-S-NW25 | 2台 |
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | RFX600A | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400RC | 5台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-310N1 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | PV-2103MC | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4500M | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-790 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400M | 8台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | PV-1501MC | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-UC | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-770AC | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-310 | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC | 10台 |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | CCMT-1000A | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400RO | 7台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400-MO | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-421 | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400R | 3台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-500MK3 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-310-NI | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4500R | 1台 |
| 真空計 | アネルバ ANELVA | M-603GC | 2台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-832-HG | 1台 |
| RF電源 | ダイヘン | DRFS-10SB32 | 1台 |
| バラトロン | Mks | 122 | 3台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK3-UL | 2台 |
| アングルバルブ | Vat | 26428-KA01-0001/5128 | 1台 |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | WP-01 | 3台 |
| 電離真空計 | アルバック Ulvac | GI-TL2 | 1台 |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1S | 1台 |
| RF電源 | アドテック ADTEC | AX-1000Ⅲ | 4台 |
| EB蒸着電源 | アネルバ ANELVA | EGP-210 | 1台 |
| EB蒸着電源 | アネルバ ANELVA | EGP-101 | 1台 |
| オイルミストトラップ | その他 | OT-1200S | 1台 |
| ピラニー真空計 | アルバック Ulvac | GP-1SRYｰS | 1台 |
| 電離真空計 | アルバック Ulvac | GI-N5 | 3台 |
| アングルバルブ | Vat | 26428-KA01-0001/2372 | 1台 |
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-AA24-0001/0022 | 1台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | MIG-430 | 8台 |
| 蒸着膜厚コントローラー | インフィコン Inficon | XTC-3 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z514MGX | 1台 |
| ゲートバルブ | Vat | 14040-CE44-0006/0204 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | MKS | M100B00452CS1BV | 1台 |
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | 3155047ｰ005B | 1台 |
| ゲートバルブ | Vat | 12040-PA06-0003/0823 | 1台 |
| 電離真空計測定子 | アルバック Ulvac | WITーG1 | 1台 |
| ゲートバルブ | Vat | 01032-CE01-0001/2101 | 1台 |
| ヌードゲージ | アネルバ ANELVA | MG-2F | 1台 |
| アングルバルブ | アルバック Ulvac | VLH-US 40KF | 1台 |
| アングルバルブ | Vat | 26428-KA01-0001/1443 | 1台 |
| アングルバルブ | アルバック Ulvac | VULH 25KF | 2台 |
| アングルバルブ | Vat | 26428-KA01-0001/1444 | 1台 |
| 真空計 | アネルバ ANELVA | MTG-015 | 3台 |
| アイソレートバルブ | アネルバ ANELVA | V-025SV-200 | 2台 |
| 蒸着膜厚コントローラー | アルバック Ulvac | CRTM6000 | 1台 |
| EB蒸着電源 | アルバック Ulvac | HPS-510S | 2台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 622A02TBE | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | PS-76DA | 1台 |
| マッチングボックス | クリエイティブデザイン | 102Y-2 | 1台 |
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG/MP/NW16 ST/ST | 1台 |
| RF電源 | Eni | ACG-6B | 2台 |
| RF電源 | ダイヘン | AGA-50C | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627B1TBD1B | 1台 |
| RF電源 | その他 | RFK10-ZF | 1台 |
| 真空バルブ | その他 | LCVB-40 | 1台 |
| バラトロン | MKS | 627A01TAC | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z511X | 3台 |
| バラトロン | MKS | 627A.1TAD | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-7320M | 2台 |
| エンドポイントモニター | 浜松ホトニクス HAMAMATSU CORPORATION | C10346-01 | 1台 |
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-02CA | 4台 |
| RF電源 | アルバック Ulvac | RFS-10C | 2台 |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1SRY-S | 13台 |
| DC電源 | 京三製作所 | HPK15ZI | 3台 |
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | Cesar1350 | 2台 |
| 真空計 | インフィコン Inficon | VGC023 | 2台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 622A11TBE | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-E431X／PE-D20 | 1台 |
| ピラニーゲージ | インフィコン Inficon | VGC401 | 1台 |
| 蒸着膜厚コントローラー | アルバック Ulvac | CRTM-6000G | 1台 |
| RF電源 | Eni | OEM-12B3 | 1台 |
| イオンゲージ | アネルバ | M-833HG-CC | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z521XN | 6台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-Z542KV | 3台 |
| マッチングボックス | ノダRFテクノロジーズ | NM2A-14 | 2台 |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1GRY | 2台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627A11TBC | 1台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-431HG | 14台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | UNIT | UFC-1200A | 17台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-761 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MO-UC | 4台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1200 | 3台 |
| アクティブピラニゲージ | エドワーズ | APG-L-NW16 | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400-MC | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | コフロック Kofloc | 3440 | 4台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Tylan | FC-780 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410-CP | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-500MK3-UL | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-8100 | 3台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Aera | FC-261J | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-400MK2 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-1100 | 2台 |
| 電離真空計 | アネルバ | MIG-721 | 3台 |
| 真空計(イオンゲージ電離真空計) | アネルバ | MIG-821 | 6台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-510-X | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | Unit | UFC-8160 | 3台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | BROOKS | 5850E | 5台 |
| 真空計 | ファイファー Pfeiffer | TPG-261 | 1台 |
| ピラニーゲージ | アネルバ ANELVA | M-350PG | 1台 |
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | MDX-1K | 1台 |
| 圧力コントローラー | Vat | PM-5 | 3台 |
| RF電源 | 京三製作所 Kyosan | RFK10Z／MAK5A-SK3 | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | フジキン | FCST2005C-4J1-F500-O2-M2.6 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | アズビル | CMQ0050CSSH01001D0 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | フジキン | FCST2005C-4J1-F500-CF4-M2.6 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | フジキン | FCST2005C-4J1-F500-N2O-M2.6 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-100MSRWR | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | コフロック Kofloc | 3760 | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | フジキン | FCST2005C-4J1-F100-AR-M2.6 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | アズビル | MQV0200JSRN000000 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | アズビル | CMQ0050CSSH1001D0 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | アズビル | MQV0500JSSN010100 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | アズビル | MQV0050CSSH0101D0 | 2台 |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1G | 2台 |
| フォアライントラップ | エドワーズ Edwards | FL20K | 2台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-3102L-NC-4JR2AAA00 | 1台 |
| RF電源 | ダイヘン | NX-AGA-30A8 | 1台 |
| バラトロン | Mks | 626A01TBE | 2台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-722HG | 1台 |
| 真空バルブ | フジキン | AH125000 | 2台 |
| ピラニーゲージ | ファイファー Pfeiffer | TPR280 | 3台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | NI-10D | 3台 |
| 真空バルブ | スウェージロック Swagelok | SS-4BMG-VCR | 1台 |
| アングルバルブ | バリアン Varian | L6591-301 | 1台 |
| 真空バルブ | Vat | F22-012 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4500 MO-SUC-082 | 4台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-100M LEP MV | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | SAM | SFC480EMC-4VM | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | リンテック | MC-2100MO | 1台 |
| 蒸着膜厚コントローラー | インフィコン Inficon | ＸＴＭ／２ | 1台 |
| イオン電源 | ion-tech | MPS-3000 | 1台 |
| 振子式バルブ | Vat | 65040-JHCL-0001／0001 | 1台 |
| RF電源 | SEREN | R301MKⅡ | 1台 |
| 真空ゲートバルブ | アネルバ ANELVA | 951-7751 | 1台 |
| イオンゲージ真空計 | アネルバ | M-431HG | 4台 |
| 真空計（電離） | アルバック | GI-M | 1台 |
| 蒸着膜厚計 | アルバック | CRTM-9000 | 3台 |
| イオンゲージ | アネルバ | MIG-921 | 1台 |
| RF電源 | SEREN | R1001 | 1台 |
| 抵抗加熱用蒸着電源 | アルバック Ulvac | PSE-PE | 1台 |
| ピラニーゲージ | エドワーズ Edwards | APG-M-NW16 | 4台 |
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | APEX5513 | 1台 |
| アクティブゲージ | エドワーズ Edwards | AIM-X-NW25 | 1台 |
| 真空計 | MKS | 750B11TGA2GA | 1台 |
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | 127500 | 2台 |
| 圧力センサー | MKS | 51A11MGA2BA005 | 1台 |
| スパークル（アークキラー） | アドバンスドエナジー AE | Sparc 3152013 | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 628B-25767 | 1台 |
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NR03NP380K | 1台 |
| 角型ゲートバルブ | Vat | 02110-CA24-BBF1／0070 | 1台 |
| 圧力コントローラー | MKS | 649A-28238 | 1台 |
| DC電源 | アドバンスドエナジー AE | MDX10K 3152012 | 1台 |
| アングルバルブ | Vat | NW25 | 1台 |
| アングルバルブ | アネルバ ANELVA | ICF70 | 1台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | UGD-1S | 1台 |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1B | 1台 |
| バタフライバルブ | Vat | 61534-KEAE-AKR1/0002 | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627A11T | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627B.1TBD1B | 1台 |
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | PE-26 | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-4400MC-057 | 2台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 626A13TBE | 1台 |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | GP-1000G | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 626BX11MDE | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-410-UL | 1台 |
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | PE-24 | 1台 |
| 真空計(Compact Full Range Gauge) | ファイファー Pfeiffer | PKR 251 | 1台 |
| イオンゲージ | アネルバ ANELVA | M-４３０HG | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627B-15910 | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627B01TBC1B | 1台 |
| イオン電源 | COMMONWEALTH SCIENTIFIC CORPORATION | ID3500／2002-004-A | 1台 |
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | FI-1000 | 1台 |
| 真空計 | アネルバ ANELVA | M-012DM | 8台 |
| RFコントローラー | アドバンスドエナジー AE | M/N 5022-001-C | 1台 |
| 低周波電源 | アドバンスドエナジー AE | PeⅡ 10K | 3台 |
| アングルバルブ | Vat | 26428-KA01-0001/18074 | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ（バラトロン） | MKS | Tｙpe660 | 1台 |
| RF電源 | アドバンスドエナジー AE | RFX-600 | 3台 |
| ビューポート | その他 | ICF203 | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ | Tylan | COLD3106E | 1台 |
| 真空計 | MKS | 270B | 1台 |
| オイルミストトラップ | アルカテル Alcatel | OME40S | 1台 |
| キャパシタンスマノメータ | MKS | 627BBU2TBE1B | 1台 |
| マスフローコントローラー電源 | 堀場エステック Stec | PAC-4I | 1台 |
| マスフローコントローラー（MFC） | 堀場エステック Stec | SEC-7330N | 1台 |
| RF電源 | ノダRFテクノロジーズ | NR2N-04 | 1台 |
| 真空バルブ（ストレート弁） | Smc | XYH-40 | 6台 |
| その他真空部品（サイレンサー） | エドワーズ Edwards | ES602 | 1台 |
| その他真空部品（大気圧センサー） | アルバック Ulvac | SAU | 2台 |
| アングルバルブ（手動弁） | 入江工研 IKC | 1LV-100M0 | 1台 |
| マルチイオンゲージ | アルバック Ulvac | SH2-1 | 7台 |
| ピラニーゲージ | アルバック Ulvac | SP1 | 2台 |